Ticer埋阻材料测试结果汇总分解.pptx

Ticer埋阻材料测试结果汇总 SME PD: 刘涌，时睿智 SMST RD:罗永红，宗泽源 Update：2015-2-3 目录 方阻率测试板第一次SES后电阻值和尺寸测量结果 方阻率测试板棕化后电阻值测量结果 ESD测试板SES后电阻值和尺寸测量结果 方阻率测试板层压后电阻值测量结果 ESD测试板方阻率随电阻设计变化趋势增补实验 方阻率测试板过热冲击后电阻值测量结果 ESD测试板阻焊前处理后电阻值测量结果 ESD测试板电测试结果相对阻焊前处理后电阻值该变量 ESD初步测试结果 ESD测试板电阻制程能力和分布 ESD测试结果 方阻率测试板第一次SES后电阻值和尺寸测量结果 2014-12-18 实验目的 测量Ticer埋阻材料方阻率稳定性。 测试项目 方阻大小为0.5、1、5cm，测量埋阻材料在经过SES一遍/两遍后的阻值以及长/宽、经过棕化后的阻值以及长/宽、经过层压后阻值、经过热冲击后阻值。 测试图形 背景 方阻率测试Panel：因铜箔较小，舍弃两边各一列Unit，Unit编号如左图所示 当前状态 4块方阻率测试板，两块进行了第一次SES，两块只进行了一次铜箔蚀刻留用。测 试了两块进行SES板的阻值和电阻尺寸。 测试设备 电阻值：日置HIOKI 3541电阻计 尺寸：三维测量仪 实验结果 编号 电阻值（Ω） 尺寸（mm） 方阻率（Ω） panel Unit号 0.5cm 1cm 5cm 0.5cm 1cm 5cm 0.5cm 1cm 5cm L W L W L W panel1 1 51.738 50.872 48.358 5.0693 4.9498 10.0761 9.9931 50.0622 49.9901 50.52 50.45 48.29 2 51.108 50.852 48.395 5.0432 4.9778 10.0506 9.9566 50.0698 49.9662 50.45 50.38 48.29 3 51.857 50.977 48.087 5.0512 4.9958 10.0664 10.0007 50.0679 49.9672 51.29 50.64 47.99 4 52.703 51.682 47.960 5.0549 4.9748 10.0509 9.9802 50.0540 49.9836 51.87 51.32 47.89 5 52.023 51.925 48.485 5.0489 5.0119 10.0673 10.0032 50.0680 49.9782 51.64 51.59 48.40 6 53.163 51.646 48.250 5.0509 5.0524 10.0418 9.9777 50.0506 50.0081 53.18 51.32 48.21 7 52.022 51.208 48.538 5.0692 4.9859 10.0634 10.0108 50.0594 49.9750 51.17 50.94 48.46 8 52.737 52.201 49.860 5.0594 4.9784 10.0333 9.9953 50.0656 49.9767 51.89 52.00 49.77 9 52.054 52.042 49.933 5.0247 4.9829 10.0418 9.9618 50.0612 49.9830 51.62 51.63 49.86 10 51.702 52.831 49.517 5.0502 4.9759 10.0523 9.9793 50.0657 50.0012 50.94 52.45 49.45 11 52.875 52.300 49.772 5.0509 4.9674 10.0613 9.9648 50.0727 49.9849 52.00 51.80 49.68 12 52.576 52.465 49.843 5.0489 4.9654 10.0689 9.9687 50.0581 50.0065 51.71 51.94 49.79 13 51.854 52.052 50.076 5.0430 4.9752 10.0530 9.9781 50.0590 49.9985 51.16 51.66 50.02 14 52.687 51.743 49.800 5.0509 4.9774