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数字式微压活塞 电话：010-8812.6551 传真：010 网址：http// 数字式微压活塞 北京德朗电子技术开发有限公司 岑月琴 王瑞科 摘 要：DPG1是 DPG系列数字式活塞压力计中的一个型号，其设计目标是采用活塞压力计原理，解决微小 绝压、表压和差压的校准。本文简要介绍了 DPG1数字式微压气体活塞压力计的原理、结构、技术特点和校准 方法。 关 键 词：微小压力，数字式活塞压力计，精密电子天平，活塞组件 一、引 言 在现实生活和工业中，很多地方用到微小压力测 量，如半导体工业、制药工业、航空航天、冶炼等。 针对这种需求，很多厂家投入大量资金和人力开发出 了多种微压传感器和变送器，并得到了广泛的应用。 然而，长期以来，微小绝压、差压和表压的校准问题 却没有得到很好的解决，尽管有高精度 U 型管微压 基准，如：超声波干涉 U 型管微压计，激光干涉 U 型管微压计等，但由于系统过于复杂，维护比较困难， 很难得到推广和普及。 在压力计量领域，活塞式压力计以其优良的不确 定度，稳定的压力控制性，长期以来使其成为定义（除 微小压力）压力和建标的首要选择。为此，很多从事 压力基、标准研究和制造的单位和个人，一直试图降 低活塞压力计的测量范围。由于活塞研磨工艺的制 约，始终未能实现。 在这期间，曾经设计有球面型活塞（如 AMETEK 和西安仪表厂的浮球式压力计）和楔型活塞，其中楔 型活塞又分为活塞筒锥面（DHI 的 FPG8601）和活 塞杆锥面（GE-DRUCK 的 V1600D）。这些设计可以 实现小压力的测量，但不是严格意义上的活塞压力 计，不能向基本量溯源。同时它们也有其自身的缺点， 如：耗气量大，压力测量腔和参考压力腔内有较大的 气体流和压强梯度，压力平衡为动态平衡，尤其在微 小压力，实现可重复的高精度测量是不可能的。 DH 作为具有 150 多年压力标准生产经验的老 牌公司，凭借精湛的活塞研磨工艺背景，设计完成了 DPG1 微压气体活塞压力计，从而使 DPG 系列活塞 的测量范围延伸到了微小压力。活塞组件采用标准的 圆柱结构，具有近于完美的几何特性，其圆度、直线 度和平行度小于 0.1u，活塞间隙小于 0.4u，由于活塞 间隙极小，流过间隙的气体几乎为零，不会在参考腔 和测量端造成压强梯度和压力不稳定，因此，具有无 可比拟的灵敏度、和重复性。 DPG1 的不确定度优于 0.02Pa+2*10-5P，最小可 测压力依赖于真空系统，采用 Edwards RV-5 旋片式 真空泵做为参考腔和测量端真空泵，参考真空可达 0.05Pa，最小测量压力为 0.5Pa。而采用分子泵，最 小测量压力低于 0.1Pa。DPG1 外观图见[图 1]。 二、工作原理 DPG1 微压气体 活塞压力计的测压 原理和一般活塞压 力计一样，是直接以 物理学上压力的定 义公式：P=F/A 为基 础的。在活塞压力计 中[图 2]，已知有效 面积的圆柱型活塞 在活塞筒中垂直的 自由旋转，作用在活 塞底端的压力和活 塞另一端所加砝码的重力平衡，因此，活塞压力计 的测压原理使压力可以和基本物理量质量（kg）、长 图 1 DPG1 微小压力气体活塞 图 2 一般活塞压力计原理 数字式微压活塞 电话：010-8812.6551 传真：010 网址：http// 度（m）和时间（s）直接联系起来，这就是活塞压 力计可以用来建立高等级压力标准的原因。 至于 DPG1 微压活塞[图 3]，同样包含一组已知 有效面积的标准活塞组件，所不同的是，它不是用 砝码测量活塞另一端所加的压力，而是采用质量传 递链中的天平环节，用精密电子天平测量压力作用 在活塞上产生的力，DPG1 活塞压力计底座内的标准 砝码自动校准精密电子天平。其测压步骤如下： 1） 内部标准砝码自动校准精密电子天平。 2） 压力经活塞转化为力，作用在精密电子天平上。 3） 精密电子天平测得力值。 4） 微型计算机根据压力计算公式算出压力值，送显 示器显示，同时送接口供计算机读取。 DPG1 的活塞组件和传统活塞的不同之处在于 在活塞筒的中间部位开一导压孔，一个比参考腔压 力高出 40kPa