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セラミック?コーティング 日本アイ?ティ?エフ株式会社 辻岡正憲 １．はじめに 金属部品（機械部品、工具、金型）への表面処理としての硬質セラミックコーティング技術は、金属 部品の耐摩耗性、耐食性、耐熱性、摺動性等を向上させる技術として古くから活用されている。特に地 球環境問題がクローズアップされ始めた近年、部品の延命化、省資源、省エネルギーを解決する手法の 一つとして特に注目されている。 本稿では、セラミックコーティングプロセスおよび膜材質の変遷を 用途別に紹介するとともに、弊社での事例を中心に最新の適用例について紹介する。 ２．代表的硬質セラミックコーティング膜 耐摩耗、耐食、摺動用途に利用される硬質セラミックコーティングは大別すると、①TiN に代表され る Ti系窒化物、②CrNに代表される Cr系窒化物、③DLC（Diamond Like Carbon）に代表される非 晶質硬質炭素膜に分類できる。ベースとなる TiN、CrN、DLCの特徴を硬質セラミックコーティングに 要求される特性で整理したものを表 1に示す。 表１．代表的セラミックコーティングの特徴 （１）Ti系窒化物コーティング 表１に示すように TiNは耐摩耗性、耐食性に優 れ、耐摩製品の表面処理として一般的に利用され ているが、最近では、耐摩耗性の一層の向上、よ り高温雰囲気での安定性を求められることが多く、 TiNに Alや Siを添加させた三元系の窒化物が主 流になりつつある。Al を添加した TiAlN は、結晶構造を変えることでより高硬度になり、Al の酸化物 の安定性により耐酸化性が上がる。TiN が硬度 Hv1800、耐熱性＜600℃に対して、TiAlN では硬度 Hv2500、耐熱性＜900℃が得られている。また、Siを添加させた TiSiNは、SiNのナノ構造を膜内に形 成することにより耐熱性、硬度が向上し、Hv3000、耐熱性＞1000℃が得られている。 （２）Cr系窒化物コーティング CrNは耐食性、耐焼き付き性、摺動性に優れた被膜であり、金型の離型性改善や機械部品の焼き付き 防止に利用されている。最近では、さらに耐摩耗性、耐熱性を上げる目的から、Al を添加した AlCrN や CrN/AlNの交互積層膜が実用化されている。CrNが硬度Hv1600、耐熱性＜800℃に対し、AlCrNで は硬度Hv＞3000、耐熱性＞1000℃を得た例もある。 （３）非晶質硬質炭素膜 DLC は摺動性（低摩擦抵抗）、耐焼き付き性に優れた被膜であり、機械部品の摺動用途や軟質金属の 成型時の凝着防止に利用され、最近特に注目されているコーティングである。DLCは非晶質炭素膜であ り、膜中の炭素の化学結合状態は、ダイヤモンド結合である SP3 結合とグラファイト結合である SP2 結合が混成されている。この SP3と SP2の比率を変化させることにより、膜の特性を変えることが可能 であり、一般に SP3が多いほどダイヤモンドに近くより硬く絶縁性の膜になり、SP2が多いほどグラフ 耐 摩 耗 耐 熱 耐 食 耐 焼 付 摺 動 TiN ○ △～○ ○ △ × CrN △ △～○ ○ ○ △～○ DLC ○ ×～△ ○ ◎ ◎ ァイトに近く黒色の導電性膜になるが、最近では、膜中に金属をドープしたDLC等種々のDLCが考案、 実用化されている。また、製法、原料によって膜中に水素が取り込まれるが、その水素量によって潤滑 下での摩擦係数が異なることが知られている。一般に、無潤滑下では水素含有DLCが、潤滑下では水素 フリーDLCが用いられる。 ３．セラミックコーティングの代表的用途 （１）切削工具 切削工具の耐摩耗性をアップのためのセラミックコーティングは、従来 CVD（Chemical Vapor Deposition；化学的蒸着法）による TiN、TiCN、アルミナコートが主流であったが、1985 年に PVD （Physical Vapor Deposition；物理的蒸着法）による TiNコート工具が実用化されて以来、特にフライ スカッター、エンドミル、ドリルに代表される回転工具の表面処理として PVDコーティングが広く利用 されている。これは、CVDに比べ PVDの方が密着力に優れること、低温で処理できること、膜が緻密 で圧縮応力を持つため、薄膜で強靭な膜が得られ、ドリル等の刃先形状を損なわずにコーティングでき ること等の理由による。切削加工の場合、被削材、切削条件によって最適な膜種を選ぶ必要がある。表 2に代表的な被削材によるコーティング膜の選定基準を示す