传感器原理及应用-第3章分解.ppt

第三章 电容式传感器 一、电容式传感器的工作原理 二、电容式传感器的测量电路 三、电容式传感器的误差分析 四、电容式传感器的应用 本章重点： 电容式传感器的构成原理及特性 电容式传感器的测量电路 电容式传感器的误差分析 概述 测量范围大，灵敏度高，动态响应特性好，结构简单、适应性强，抗过载能力大，价格便宜，一般用于测量压力、力、位移、振动、液位等。 容易实现非接触测量。 寄生电容较大，具有非线性。 调频电容传感器测量电路具有较高的灵敏度，可以测量高至0.01μm级位移变化量。信号的输出频率易于用数字仪器测量，并与计算机通讯，抗干扰能力强，可以发送、接收，以达到遥测遥控的目的。 特点： §3-3 电容式传感器的误差分析 电容传感器结构原理的分析均在理想条件下进行，没有考虑如温度、电场边缘效应、寄生与分布电容等因素对传感器精度的影响。 实际上由于这些因素的存在，使电容传感器特性不稳定，严重时甚至无法工作，因此在设计和应用时必须予以考虑。 一、温度对结构尺寸的影晌 温度误差主要是由于构成传感器的材料不同，因此有不同的温度膨胀系数。当环境温度变化时，传感器各零件的几何形状、尺寸发生变化，从而引起电容量变化。 式中：C0为传感器初始电容；ΔCp为在被测信号作用下电容的增量；ΔCt为环境温度变化引起的电容增量。 在设计传感器时，为减小温度误差，应选择合适的几何尺寸、适当的电极材料与电介质，外形结构。 金属电极材料可选用温度系数低的铁镍合金，也可采用在陶瓷或石英上喷镀金或银，这样电极可以做得极薄。 电极支架选用温度系数小和几何尺寸长期稳定性好，并具有高绝缘电阻、低吸潮性和高表面电阻的材料。例如石英、云母、人造宝石及各种陶瓷等。 电介质采用空气或云母等，其介电常数的温度系数近似为零。 尽量采用差动对称结构，这样可以通过某些类型的测量电路(如电桥)来减小温度等误差。 二、电容电场的边缘效应 理想条件下，平行板电容器的电场均匀分布于两极板所围成的空间，这仅是简化电容量计算的一种假定。当考虑电场的边缘效应时，情况要复杂的多。 边缘效应的影响相当于传感器并联一个附加电容，引起传感器灵敏度下降和非线性增加。 为了克服边缘效应，应增大初始电容量C0，即增大极板面积，减小极板间距。此外，加装等位环是消除边缘效应的有效办法。 如图示。除1、2两极板外，又在极板2的同一平面内加一个同心环面3。2、3在电气上相互绝缘，使用时2和3两面间始终保持等电位。这就能使电极2的边缘电力线平直，电极1和2之间的电场基本均匀，而发散的边缘电场发生在等位环3外周，不影响传感器两极板间电场。 均匀电场 1 2 3 3 边缘电场 图3-26 加等位环消除边缘效应 边缘效应引起的非线性与变极距型电容式传感器原理上的非线性恰好相反，在一定程度上起了补偿作用。 三、寄生与分布电容的影响 传感器电容值很小，若激励频率较低，则容抗很大，对传感器绝缘电阻要求很高； 传感器极板与周围物体的电容联系，称为寄生电容。它不但改变了传感器的电容量，而且由于传感器本身电容量很小，寄生电容极不稳定，易导致传感器特性不稳定，产生严重干扰。 采用静电屏蔽措施，将电容器极板放置在金属壳体内，并将壳体与大地相连；其电极引出线也必须用屏蔽线，屏蔽线外套要求接地良好。 尽管如此，仍存在以下两个问题： ① 屏蔽线本身电容量较大，每米最大可达几百皮法，最小有几皮法。当屏蔽线较长时，其本身电容量很大，往往大于传感器的电容量，而且分布电容与传感器电容相并联，使传感器电容相对变化量大为降低，导致灵敏度显著下降； ② 电缆本身电容量由于放置位置和形状不同而有较大变化，会造成传感器特性不稳定。 处理方法： “驱动电缆”(双层屏蔽等位传输)技术 整体屏蔽法 集成化技术 1.“驱动电缆”技术 基本原理：电缆屏蔽层的电位跟踪传感器电容极板电位，使二电位的幅值与相位均相同，从而消除电缆分布电容影响。 由于屏蔽层上有随传感器输出信号变化而变化的电压，因此称为“驱动电缆”。这种技术可使电缆线长达10m之远也不影响仪器的性能。 传感器与测量电路前置级间的引线为双屏蔽层电缆，其内屏蔽层与信号传输线(即电缆芯线)通过1:1放大器成为等电位，从而消除了芯线与内屏蔽层之间的电容。 图3-27 驱动电缆线路原理图（1） 外屏蔽层接地，用来防止外界电场的干扰。内外屏蔽层之间的电容是1:1放大器的负载。 该放大器是一个输入阻抗要求无穷大、具有容性负载、放大倍数为1（准确度要求达1/10000）的同相（要求