透明导电薄膜zno的制备与性能测试.pptVIP

透明导电薄膜ZnO的制备和性能测试　　　　　　物理系薄膜制备与性能测试　　　　　　　　　四级物理实验室 前 言 实验的要求与时间安排 最后评估 怎样去调研 本次实验目的 ZnO薄膜的制备 ZnO薄膜的性能测试 展望和建议 实验要求 本实验为四级普通物理实验，是我校根据教改需要在全国首次提出的改革措施．它在一二三级实验的基础上对学生提出了更高的要求． 四级实验主要以科研为主，组织若干个围绕物理实验的课题，以科学研究的方式进行实验教学，以提高学生的科研素质。 　 我们的实验是一个系列实验，它有四部分组成，即：化学清洗与靶材的压制，ZnO薄膜的制备，薄膜结构性能的测试，薄膜电学性能的测试等. 　这个实验是按照科研培训的程序来安排的，具体安排如下： 把学生分组，由老师讲解，提出调研方向和实验要求． 学生按照所提要求自行调研，写出开题报告． 组织有关人员对报告进行评议，从而最终确定实验方案． ４．实施阶段由学生自己动手完成样品制备和工艺实验，参数测试，以及仪器设备调整，简单维修． ５．实验后分析，综合，总结，提倡组内和组间的讨论，争论和对比。 ６．写出结题报告，要求达到一般的准毕业论文的水平． 实验的具体时间安排 本试验分四周完成，每周有一个下午时间（下午两点开始）； 第一周听老师介绍试验的相关内容，做相关方面的调研； 第二三周是具体的实验操作，在此过程中要完成调研报告（做成powerpoint形式）； 第四周交实验报告和调研报告，并在519教室以powerpoint 形势作调研报告。 注：powerpoint可以以组为单位做，一组最多为四个人。 最后评估 实验报告，每人一份，可以讲述自己的想法，不论成熟与否，占50%； 调研报告，不局限于你做的实验，只要与实验相关就行，可以二到三人合做一份； 作报告，如果是2-3人合做的，要派以代表来讲； 后两项和占50%。 怎样去调研 如何进行科学调研； 关于调研的课题方向； 你可以利用的资源。 如何进行科学调研 了解国内外对相关课题的研究现状； 找出你自己感兴趣的研究方向； 着重调研国内外对这些方向的研究； 分析他们所做研究的优缺点； 为解决某些问题，提出自己的见解或技术方案。 调研的领域 主要包括四个方面： ZnO薄膜性质及应用方面的调研； 靶材制备工艺的调研； 薄膜制备方法和设备的调研； 薄膜的结构和性能测试的调研。 ZnO薄膜性质及应用方面的调研 ZnO是一种具有纤锌矿晶体结构、室温宽禁带的多功能半导体材料 它是直接带隙的宽禁带（Eg=3.3eＶ)半导体材料，属于六角晶系、6mm点群 。与ZnSe,ZnS和GaN相比，ZnO是一种合适的用于室温或更高温度下的紫外光发射材料。 几种宽禁带的半导体材料的基本特性比较如下： 氧化锌薄膜的用途： 　ZnO薄膜有较强的压电和压光效应，有广阔的应用前景，尤其在光电子学等交叉学科领域中，如压电转换器，显示和光伏器件，太阳能电池，气敏传感器，光波导等。此外ZnO薄膜可作为中间层以改变其它薄膜材料的晶格结构和电学性质，如作为GaN的衬底就可明显改善GaN的结构和电学性质。 调研中可能用到的英文词汇： 薄膜：films 性质：properties 应用：aplliance 太阳能电池：solarcells 压电效应：piezoelectricity 光电子： Photoelectron 光电子学：optoelectronics 电学性质：electronical conductivity 气敏特性：gas-sensing property 除此之外，我们还可以做其它的调研, 比如： 纳米薄膜；组成薄膜的纳米材料可以是金属的.半导体.绝缘体.有机高分子等，也可以使它们的组合。如：纳米氧化锌（nano-crystalline zinc oxide）。可用于纳米薄膜涂层，纳米润滑，还可以提高磁盘的存储密度。“纳米自洁净玻璃”是应用高科技纳米技术在平板玻璃的两面镀制一层纳米薄膜，薄膜在紫外线的作用下可分解沉积在玻璃上的污物，氧化室内有害气体，杀灭空气中的各种细菌和病毒。这种玻璃与普通玻璃的价格比预计为1.5：1。 等。 透明导电薄膜特性及应用 其基本特性是在可见光范围内，具有低电阻，高透射率． 目前在高功率激光技术中抗激光损伤涂层，光电化学电池中的光阴极，轨道卫星上温度控制涂层上的抗静电表面层等许多方面都有广泛的应用． 透明导电薄膜的种类 目前用得最多的有：氧化铟（Indium Oxide）,二氧化锡（Tin Oxide）,氧化锌（Zinc Oxide）,以及锡酸镉（Cadmium Stannate）等。 例如：掺了铝的氧