XL80激光干涉仪原理.pptVIP

干涉镜原理 Renishaw XL 将一个反光镜牢固地接上分光镜，形成一个固定长度的基准臂。 而另一个反光镜可以相对于分光镜移动，形成可变长度的测量臂。 从 XL 射出的激光束 (1) 有单一频率，其标称波长为 0.633 μm，且其长期波长稳定性（真空状态）要高于 0.1ppm。 当此光束抵达偏振分光镜时，会被分为两道光束 - 一道反射光 (2) 和一道透射光 (3)。 这两道光射向其反光镜，然后透过分光镜反射回去，在激光头内的探测器形成一道干涉光束。 若光程差没有任何变化，探测器会在相长性和相消性干涉的两极间找到稳定的信号。 若光程差确实有变化，探测器会在每一次光程改变时，在相长性和相消性干涉的两极间找到变动的信号。 这些变化（干涉条纹）会被计算并用来测量两个光程间的差异变化。 测量的光程就是栅格数乘以光束大约一半的波长。 值得注意的是，激光束的波长取决于其所通过的空气折射率。 由于空气折射率会随着温度、压力和相对湿度而变化，用来计算测量值的波长值可能需要加以补偿，以配合这些环境参数的改变。 实际上，就规格部分提到的测量精度来说，此类补偿只有在进行线性位移（定位精度）测量，当两道光束的光程差变化很大时才需要。 线性干涉原理 运动测量 如果测量光路长度改变（角锥反射镜C移动），干涉光束的相对相位将改变 由此产生的相长干涉和相消干涉的循环将导致叠加光束强度的明暗周期变化 角