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电子显微镜-TEM讲述
电子显微镜—TEM
目录
一、电子显微镜简介
二、基础知识
三、透射电镜原理和结构
四、透射电镜的成像原理
一、电子显微镜简介
电子显微镜是利用电子束对样品放大成像的一种显微镜,包括扫描电镜(Scanning Electron Microscopy, SEM)和透射电镜(Transmission Electron Microscopy,TEM)两大类型,其分辨率最高达到0.01nm,放大倍率
高达1500 000倍,借助这种
显微镜我们能直接观察到物
质的超微结构。
二、基础知识
基础知识
三、透射电镜原理和结构
3.1 透射电镜的基本原理
透射电子显微镜(Transmission electron microscope,缩写TEM),简称透射电镜,是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像,影像将在放大、聚焦后在成像器件(如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件)上显示出来。
具有一定能量的电子束与样品发生作用,产生反映样品微区厚度、平均原子序数、晶体结构或位向差别的多种信息。
透射电镜原理和结构
3.2 透射电镜的结构
透射电镜原理和结构
四、透射电镜的成像原理
4.1 成像的类型
1、复型像:反映试样表面状态的像,衬度取决于复型试样的原子序数和厚度;
2、衍衬像:反映试样内部的结构和完整性,起源于衍射光束;
3、相衬像:由透射束和一束以上的衍射束相互干涉产生的像。
透射电镜的成像原理
4.2 质厚衬度
4.2.1.原子核和核外电子对入射电子的散射
供观察形貌结构的复型样品和非晶态物质样品的衬度是质厚衬度
经典理论认为散射是入射电子在靶物质粒子场中受力而发生偏转。可采用散射截面的模型处理散射问题,即设想在靶物质中每一个散射元(一个电子或原子核)周围有一个面积为σ的圆盘,圆盘面垂直于入射电子束,并且每个入射电子射中一个圆盘就发生偏转而离开原入射方向;未射中圆盘的电子则不受影响直接通过。
透射电镜的成像原理
4.2.1.原子核和核外电子对入射电子的散射
原子核对入射电子的散射是弹性散射,而核外电子对入射电子的散射是非弹性散射。 透射电镜主要是利用前者进行成像,而后者则构成图像背景,从而降低了图像衬度,对图像分析不利,可用电子过滤器将其除去。
透射电镜的成像原理
4.2.2.质厚衬度原理
设电子束射到一个原子量为M、原子序数为Z、密度为ρ和厚度为t的样品上,若入射电子数为n,通过厚度为dt后不参与成象的电子数为dn,则入射电子散射率为
将上式积分,得: 式中N0为入射电子总数(即t=0时的n值),N为最后参与成像的电子数。
透射电镜的成像原理
4.2.2.质厚衬度原理
当其他条件相同时,像的质量决定于衬度(像中各部分的亮度差异)。 这种差异也可以是因为相邻部位原子对入射电子散射能力不同,因而通过物镜光阑参与成像的电子数也不同形成的。
透射电镜的成像原理
4.2.3.质厚衬度表达式
令N1为A区样品单位面积参与成像的电子数,N2为B区样品单位面积参与成像的电子数,则A、B两区的电子衬度G为
将上式展成级数,并略去二级及其以后的各项,得:
将 ? t 称为质量厚度。
透射电镜的成像原理
4.2.3.质厚衬度表达式
对于大多数复型来说,因其是用同一种材料做的,上式可写为
即衬度G取决于质量厚度ρt,这就是所谓质量厚度衬度(简称质厚衬度)的来源。实际上,这里G仅与厚度有关,即
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