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2017-04-07 发布于天津
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微電子工程張政煒，周煒，王寶泉，袁小霞，李鑫鑫國家重點實驗室和微系統技術實驗室，上海微系統與信息技術研究所傳感技術和科技，中國科學院，上海200050，中國輪胎壓力監測系統（TPMS）傳感器：單片集成壓阻式壓力感測器的表面微加工和自我測試加速度計 ARTICLE INFO 文章信息 Article history: 文章歷史 Received 22 April 2011: 收稿日期2011年4月22日 Received in revised form 26 July 2011: 在修訂後的2011年7月26日收到（2011年10月1日） Accepted 1 October 2

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