ARL9800X荧光光谱仪真空系统中文说明书讲义.pdfVIP

9800的真空系统 ----------------------------------------------------------------------------------------------------- 9800的真空系统和以前的 84/86及 9400都不同，这是因为除了进样方式和 试样室结构不同外还使用了分子泵。9800真空系统使用了二个泵：低真空油泵 和高真空分子泵。 低真空油泵(Pump2,，P2)主要用于试样进出时的试样室抽空以及光谱室的前 期抽空，它有二种工作方式，即全工作方式( Full Mode，220V供电)和半工作方 式(Half Mode，110V供电)，按真空度情况由 XQM控制自动切换。高真空分子泵 (Pump1，P1)用于光谱室抽空，它的转速可按光谱室真空状态由 XQM控制变化， 通常处在 12000--27000rpm(转/分)。由于分子泵没有油气污染而且可以改变转速 从而维恃真空稳定，所以保证了光谱室有一个清洁稳定的分析环境。 低真空油泵(Pump2,，P2)主要用于试样进出时的试样室抽空以及光谱室的前 期抽空，它有二种工作方式，即全工作方式( Full Mode，220V供电)和半工作方 式(Half Mode，110V供电)，按真空度情况由 XQM控制自动切换。高真空分子泵 (Pump1，P1)用于光谱室抽空，它的转速可按光谱室真空状态由 XQM控制变化， 通常处在 12000--27000rpm(转/分)。由于分子泵没有油气污染而且可以改变转速 从而维恃真空稳定，所以保证了光谱室有一个清洁稳定的分析环境。 一. 抽空顺序： 仪器一通电，XQM首先获取光谱室(SP)真空状态参数。 1. 如 SP25KPa，XQM认为光谱室处于真空，给二个泵供电起动，使 P2处 在全工作方式而 P1转速升至 15000rpm，同时打开光谱室抽气阀门 V1抽空。当 SP1000Pa，XQM会命令 P1提速至 27000rpm继续抽空。在到达 SP13Pa，XQM 将使 P2改为半工作方式，P1继续维恃高速。在整个过程中，试样室始终处于大 气状态，这时仪器处在待分析状态。 2. 如 SP25KPa，ICS认为光谱室处在大气或接近大气状态，二个泵都不供电 起动，等待环境设置的命令。环境设置可用软件设置或终端命令 SE 1 。 3. 环境设置命令输入后，首先试样室的 Loading Lift下，Shutter关，使试样 室与外界隔离。1) 这时 XQM对 P2供电并使之处于全工作方式，打开试样室抽 气阀门 V2，对试样室抽空。 2) 当 PC= SP时，XQM 命令打开输送杯外框(shell)使试样室和光谱室联通， 同时 P1通电，转速逐渐升至 12000rpm。 3)当 SP25KPa，打开光谱室抽气阀 V1，P1转速升至 15000rpm，二个泵同 时抽。 4)当 SP1000Pa，P1转速升至 27000rpm，继续二个泵同时抽。 5)当 SP13Pa， P2改为半工作方式，P1继续维恃高速抽光谱室。 6)紧接着 XQM 命令关闭 Shell使试样室和光谱室隔离，试样室抽气阀门 V2 关闭，试样室进气阀 V3打开使试样室进气成大气然后 V3再关闭，试样室的 Shutter打开，Loading Lift上，使试样室与外界连通。 这时光谱室真空，试样室大气，仪器处在待分析状态。 二. 抽空中止(Pumping suspended)： 抽空中止是在抽空过程中的一个特殊状态，这时 V1和 V2被关闭，P1和 P2 的供电被切断。 上述的任一抽空过程出现问题，都会引发抽空中止。例： 1. 当上述 3-2过程抽了 30 分钟后，还到不了 SP25KPa; 2. 当上述 3-3过程抽了 60 分钟后，还到不了 SP1000Pa或又大于 25KPa了; 3. 当上述 3-4过程抽了 60 分钟后，还到不了 SP13Pa或又大于 25KPa了; 4. 开机时 SP真空，按上述 1过程抽了 5 分钟后，还到不了 SP13Pa或又大 于 25KPa了; 5. 光谱室处在真空下，但突然 SP100Pa。 处在抽空中止状态下要恢复抽空，必须重新设置环境。 三. 油泵(P2)的电路控制： 油泵控制涉及的电路有：Power Distrubution(板号 S702593图号 S111852);XQM(板号 S702416图号 S111556，S111853);XSP(板号 S702594，图号 S111851) 油泵电路控制较为简洁。油泵电机接的相中地三线由 PD板的 TS911输出， 其中仅相线(TS911-1)受控制。电源 220V相线经继电器 IC2输出至 TS911-1;由生成 24V的变压器初级线圈中心抽头引出