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永美科技材料有限公司靜電防護研討會 講師：江林村 經理 防靜電技術研討 一、????? 何謂ESD 二、????? 防靜電等級區分與無塵室等級區分 三、????? 靜電的產生 四、????? 靜電防護主要目的及執行 五、 靜電防護四大原則 六、????? 電子工作區之靜電防護 七、????? 靜電消除方法 八、????? 靜電接地的目的.分析 九、 靜電防護設備要求 一、何謂ESD Electrostatic Discharge(靜電放電) 或 Electrostatic Dissipative (靜電釋放) 二、防靜電等級區分與無塵室等級區分 靜電產品考量要點 1.產品阻抗值 2.磨擦帶電壓 3.靜電消散時間 1.絕緣體 表面組抗值 : 10e12.5Ω/SQ以上 2.抗靜電級 表面組抗值 : 10e10~10e12Ω/SQ 3.靜電消散級 表面組抗值 : 10e7~10e9Ω/SQ 4.導電級 表面組抗值 : 10e6Ω/SQ 以下 無塵室等級區分 根據美國 Federal STD（聯邦標準）209E 定義： ? 一立方英呎體積內允許Particle之數量及大小來分辨無塵室等級 三、靜電的產生 n?????? 靜電帶電之現象: 1.磨擦帶電:為最普遍的一種，如滾輪移動 及人員走動 2.剝離帶電：如幻燈片 3?.流動帶電：如油罐車泄油時 4.噴出帶電：如噴嘴噴出之溶劑 5.攪拌帶電：攪拌機 6.感應帶電：Monitor 摩擦電序列表 空氣 人手 + 電荷 石棉 兔毛 玻璃 雲母 hair 尼龍 羊毛 毛皮 鉛 蠶絲 鋁 紙 棉花 钢 中性 木材 琥珀 密封蠟 硬橡膠 鎳、銅 黃金、白金 硫磺 嫘瑩 聚脂 賽璐璐 奧龍 聚胺脂（PU） 聚乙烯（PE） 聚丙烯（PP） 乙烯基（PVC） Kel-F 矽 鐵弗龍 - 電荷 ? 作 業 衣 與 人 體 帶 電 溫度25℃，濕度38%RH 人體（C=200PF）與日常活動所産生之靜電量 四、靜電防護主要目的及執行 一、增加生產量（Increased Yields） 二、節省成本（Cost Saving） 三、產品可靠性較佳（Better Product Reliability） 四、產品壽命較長（Extended Usage Life) 五、 電子元件的敏感度 視電子電路特性不同，不同電子元件對靜電的敏感度亦有不同（表2-3）。 電子元件根據對ESD的敏感度區分ESDS的等級。例如，DoD-STD-1686將元件對ESD的敏感度區分爲三級： Class1-元件敏感度從0～1,999V Class2-元件敏感度從2,000V～3,999V Class2-元件敏感度從4,000V～15,999V 表2-3電子元件的ESD敏感度 ? 表2-3電子元件的ESD敏感度 很多公司不願做分級試驗，原因是所費不 貲，變通的辦法是將他們的産品規格訂在最敏 感的一級-Class1。因此，他們的工件區域須按 處理最敏感元件要求標準設計。有些公司也可 能被供應商要求採納及執行分級試驗，例如 MIL-STD-883。爲適應MIL-STD-1686規範，這些 動作是可被接受的方法。 地 點 來 源 解 決 方 法  ? 電子業靜電的產生與防制 規 格 1500 1000 ? 500 1分鐘 2分鐘 量測到之電壓 歨行狀態 靜止狀態  ? ? ? ? ? ? ?  一般地板 靜電防護對人體的效果 一般地板 步行狀態 靜止狀態 1500 1000 ? 500 ? ? ? ? 導電地板 1分鐘 2分鐘 六、靜電防制四大原則 1 環境控制 2 人員控制 3 包裝材料控制 4 人