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原子力显微镜Atomic Force Microscope 品质管理部信赖性管理科 分析解析室 顾方晗 目 录 显微镜的发展史 原子力显微镜的原理 结构 工作模式 应用 显微镜的发展历史 光学显微镜 透射电子显微镜 扫描隧道显微镜 扫描电子显微镜 原子力显微镜 光学显微镜 16世纪末，荷兰的眼镜商Zaccharias Janssen, 第一台复合式显微镜，倍数太低 透射电子显微镜（TEM） 1938年，德国工程师 Max Knoll和Ernst Ruska制造出了世界上第一台透射电子显微镜（TEM）。 扫描电子显微镜（SEM） 1952年，英国工程师Charles Oatley制造出了第一台扫描电子显微镜（SEM）。 扫描隧道显微镜（STM） 1983年，IBM公司苏黎世实验室的两位科学家Gerd Binnig和Heinrich Rohrer发明了扫描隧道显微镜（STM）。 STM的原理是电子的“隧道效应”，所以只能测导体和部分半导体。 原子力显微镜（AFM） 1985年，IBM公司的Binning和Stanford大学的Quate研发出了原子力显微镜（AFM），弥补了STM的不足，可以用来测量任何样品的表面。 AFM的原理 AFM是在STM的基础上发展起来的一种显微技术。那么，首先我们先来了解下STM的工作原理。 STM是利用原子间的隧道效应进行测量的。 隧道效