扩散CT工艺规程技巧.docVIP

赛维LDK太阳能高科技（合肥）有限公司文件编号文件名称扩散CT工艺规程生效日期2011-01-06页码第 PAGE 11页 共 NUMPAGES 11页 目的： 建立正确操作扩散CT扩散炉的工艺的规范，以保证扩散的质量及保护机器和人身安全。 2、范围： 本指导书适用于扩散CT扩散炉工艺规程。 3、工艺人员职责 3.1 负责扩散工序生产工艺运行的正常性、稳定性。 3.2负责部门内工艺运行原始资料的累积，保管，随时检查工艺运行状态，并记录异常，积极处理工艺异常。 3.3 负责应对CT扩散炉设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措施、预防措施、应急方案。 4、工艺生产 4.1检查“Slider”是否在上料位置，若不在，手动状态下移到上料处：“Manual/Slider/to port”（图1）。把插好硅片的舟放到“slider”上。尽量使舟在“slider”中间位置（图2） 图1 图2 4.2在“Setup”界面选择“Boat”项（图3），选择一个舟号，进行工艺信息编辑。 4.3选择确定后，进入“boat activation”界面（图4），点选“Set boat active for handling”、 “Set boat to ‘Ready for proc