射流等离子加工技术分解.ppt

四川大学 高分子科学与工程学院 陈军 表面处理=表面清洗+表面涂层 表面清洗（除油） 有机溶剂除油 煤油、汽油、苯类、酮类等 电化学除油 电解溶液 紫外线-臭氧清洗 有机污染物分子被紫外线激发或分解，和氧原子反应形成气体 等离子清洗 瞬间使有机污染物分子蒸发、气化或分解 表面涂层 电化学方法 电镀、氧化、 化学方法 化学转化膜处理、化学镀 热加工方法 热浸镀、热喷涂、热烫印、化学热处理、堆焊 沉积法 离子注入、物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD） 等离子体概念 等离子体是物质的第四态, 即电离了的“气体”, 它呈现出高度激发的不稳定态, 其中包括离子( 具有不同符号和电荷)、电子、原子和分子。 能 量 等离子体构成 由处于激发状态的粒子构成，粒子组成包括分子、原子、分子碎片、离子、基团、准分子等 气体 N2 O H Ar He C Ti F 电离能（eV） 15.8 12 13.5 15.8 24.6 11.3 6.8 17.4 各种气体的电离能 等离子体的形成 当物质受到外加能量(磁、电、热……) 作用, 原子中外层电子的势能急速下降, 最后脱离核场的束缚而逃逸到远处, 这就是通常我们所说的电离。此时, 原子变成为两个带电荷的粒子, 即负电荷的电子和正电荷的离子。 如果所有组成物质的分子或原子完全被电离成离子和电子, 就改变了原来的形态, 成为物质的等离子体态。 等离子的基元反应 电子碰撞反应 激发 e+A2→A?+e 解离 e+A2→2A+e 电离 e+A2→A2++2e ...... 重离子间的非弹性碰撞 潘宁解离 M?+A2→2A+M 潘宁电离 M?+A2→A2++M+e 电荷转移 M+/-+A2→A2+/-+M 碰撞消除 M+A2-→A2+M+e 离子离子复合 M-+A2+→A2/2A+M 电子离子复合 e+A2+→2A 原子复合 2A+M→A2+M 原子加成 A+BC+M→ABC+M ...... 非均相反应（s-固相） 原子复合 S-A+M→S+A2 亚稳态去激发 S+M?→S+M 原子剥夺 S-A+B→S+AB 溅射 S-A+M?→S?+A+M 光化学反应 RH+UV→R?+H? RF+UV→R?+F? 氧低温等离子体化学反应 RH+O?→R1H+R2O? →R? +OH? R?+O2→ROO? ........... 光谱诊断系统 在线监测放电过程， 聚束喷射头 AirPlas-100低温等离子体平台 等离子应用 表面清洗 仪器设备 在氧气氛条件下，等离子束快速扫描材料表面时，其表面温度在瞬间可迅速升至有机物的热分解温度以上，在等离子环境中，有机物中的C、H等与氧反应，生成CO2、H2O等。 清洗条件： O2气氛，固定喷头， 火焰长度：4mm 电源输出功率：4.0 清洗速度：25mm/s 清洗次数：1次 表面清洗-剪切强度关系 等离子扫描速度对剪切强度的影响 不同清洗条件对剪切强度的影响 金属表面的超细清洁 微电子机械系统（MEMS）领域应用 清洗 除去光刻胶，金属化前器件衬底清洗，电路粘片前清洗…… 干法刻蚀 硅基太阳电池的表面纳米织构，微电子器件，高精度的衍射光学元件…… 镀膜 等离子辅助沉积薄膜技术是在可控气氛, 即一般是在活性气氛中利用等离子体的高热焓特点进行材料合成, 最后沉积在基底上形成薄膜结构, 例如氧化物陶瓷超导薄膜、金刚石薄膜、CN 薄膜和Fe16N2非晶软磁薄膜及其它材料薄膜。 光谱诊断系统 在线监测放电过程， AirP