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项目名称及要求：热场发射透射电子显微镜系统 序号 货物名称 技术参数要求 数量 备注 1 热场发射透射电子显微镜系统 详细指标见附件 1 推荐品牌： FEI、日本电子、蔡司 项目概述： 所购置的热场发射透射电子显微镜属于较高端的科研与教学仪器设备。 主要用于各种材料的高分辨形貌观察、微区晶体结构、相结构、成分分析和选取电子衍射分析测定等，该系统主要由电子光学系统、高压系统、真空系统、能谱仪、CCD成像和制样等部分组成，服务于我校师生、周边院校等单位。 系统总体构成： 电镜主机（包含真空系统、电子光学系统、高压系统、检测器单元等）、冷却循环水系统、能谱仪、自动变压器、CCD成像系统、控制计算机、制样设备、后备电源、标准工具包及相关附件。主要指标见附件：热场发射透射电子显微镜（TEM）技术参数 附件：热场发射透射电子显微镜（TEM）技术参数 （注：技术指标中前加“*”号为必须满足的条款，不允许负偏差） 1. 运行环境： 1.1 工作温度：18-23 ?C 1.2 工作湿度：≤ 60% （20 ?C） 1.3 适用电源：单相，220 V（?10%），50 Hz；三相，380 V（?10%），50 Hz 1.4 磁场：水平 ≤ 80 nTp-p，垂直 ≤ 100 nTp-p 1.5 接地电阻：≤ 0.4 ? 1.6 仪器运行的持久性：仪器可连续长期使用 2. 设备用途 2.1 科学研究 2.2 主要用于材料的高分辨形貌观察、晶体结构、相结构、成分分析和电子衍射分析测定等，主要由电镜主机、冷却循环水、能谱仪、自动变压器、CCD成像、制样设备等部件构成。 *3. 技术规格 3.1 电子枪 3.1.1 电子枪类型：肖特基场发射电子枪 3.1.2 束流：≥ 0.6 nA（束斑尺寸为1 nm时） 3.1.3 束斑漂移：≤ 1 nm/min 3.2 分辨率 3.2.1 点分辨率：≤ 0.24 nm 3.2.2 线分辨率：≤ 0.102 nm 3.2.3 信息分辨率：≤ 0.14 nm 3.2.4 能量分辨率：≤ 0.75 eV 3.3 放大倍数 3.3.1 倍数范围：25-1,000,000倍 3.3.2 放大倍数重复性:≤ 5% 3.4 加速电压 3.4.1 电压范围：20-200 kV 3.4.2 加速电压全程范围内切换仅需通过软件即可完成 3.4.3 加速电压稳定性：≤ 1 ppm/10min 3.4.4 物镜电流稳定性：≤ 2 ppm/min 3.5 最小束斑尺寸 3.5.1 透射模式（TEM）：≤ 1 nm 3.5.2 EDS/NBD/CBD模式：≤ 0.3 nm 3.6 电子衍射 3.6.1 最大会聚角：≥ 100 mrad 3.6.2 最大接受角：≥ 13? 3.7 物镜 3.7.1 球差系数：≤ 1.2 mm 3.7.2 色差系数：≤ 1.2 mm 3.7.3 最小聚焦步长：≤ 1.8 nm 3.8 相机长度：80-4,500 mm 3.9 照明模式 3.9.1 两种照明模式：平行光模式和汇聚束模式。每种模式下各有11种束斑尺寸，大小可调 3.9.2 照明模式间切换：通过软件即可完成，切换后系统稳定所需时间短于1分钟 3.10 样品台 3.10.1 5轴样品台，可存储和复位5维（x, y, z, ?, ?）坐标 3.10.2 单倾样品杆 3.10.3 低背景双倾样品杆 3.10.4 样品移动范围：X，Y ≥ ?1 mm；Z ≥ ?0.375 mm 3.10.5 样品台最大样品倾角 ?40? 3.10.6 样品台漂移（使用标准样品杆）：≤ 0.5 nm/min 3.11 扫描透射附件（STEM） 3.11.1 探头：高角环形暗场探头（HAADF） 3.11.2 明场分辨率：≤ 0.2 nm 3.11.3 暗场分辨率：≤ 0.2 nm 3.11.4 HAADF分辨率：≤ 0.2 nm 3.11.5 放大倍率：150-230，000，000倍 3.11.6 TEM与STEM切换所需热稳定时间：≤ 30 s 3.11.7 可同时采集STEM和EDX信号，并实时显示 3.12 真空系统 3.12.1 真空系统构成：完全无油真空系统，由机械泵、超静音分子泵和离子泵构成 3.12.2 真空度：电子枪真空度 ≤ 5×10-7 Pa；样品区真空度 ≤ 2.7×10-5 Pa 3.12.3 典型换样时间：≤ 1 min 3.12.4 更换样品时无需关高压 3.12.5 自动真空抽气及诊断系统，断电、漏电、真空自动保护 3.12.6 机械泵可放置在设备间，有效隔离噪音与振动 3.12.7 另提供5米长进口真空硅胶管1条 3.12.8 自动变压器1台（进口，4 kW，含230、220、210、110、105、100、95 V接线柱） 3.13 冷却循环水