所有结构的集成.PDFVIP

IEEE microwave magazine December 2011 42 所有結構的 集成 Adrian M. Ionescu, Jean Dijon, John Robertson 自 1991 年人們發現了碳納米管 （CNT）以來[1]，CNT 已被認為 是用於邏輯納米器件，互連，以及 納米電機械系統（NEM）最有前途 的材料。它們具有非同尋常的獨特的 機械（楊氏模量可以達到 1TPa）和電 氣特性（導電率比銅還高，可用作金屬 納米管，並且具有很高的載流子遷移率， 可以用作半導體納米管）。另一個使 CNT 在用於過孔技術時尤其具有吸引力的獨特特 性是其能承載超過 108A/cm2的電流密度[2]， [3] 而不會出現電遷移問題。圖 1（a）總結了 使其在本工作裡所介紹的應用中極感興趣的關 鍵的電氣和機械性能指標，以及在圖 1（b）中 展示了所生成的用作過孔連接的平均直徑為 1.2nm 的 CNT。 CNT 同樣也可以在具有很大長寬比的孔中進 行培植，並且無需襯墊來將其