扩散3-4管方阻异常排查概览.pptx

扩散3-4方阻异常排查报告; 异常描述 原因分析 原因排查以及确认 小结以及后续计划;;; 3月29日发现3-4、3-5、3-6管整体方阻异常偏低，和设备一起检查磷源温度、尾排各管接触等，对尾排开大，降低温度试片失败；和设备一起测试尾排抽风并和其它管作对比无异常。; 3月30日对3-4管进行小氮鼓泡检查，发现3-4管小氮鼓泡偏小，更换小氮流量计后进行试片，效果不明显；将3-4、3-5、3-6降低小氮流量、降低大氮流量、增大小氧流量后进行试片，方阻有所提升（达到40），但仍达不到正常值，波动较大，总体方阻偏小，结合流量减小基础上加大排风开度试片方阻达到55-65之间，3-5和3-6可以正常生产；3-4方阻40，且波动难以控制，下午找设施人员查找外围抽风送气（小氧、大氮、小氮）是否堵塞等情况，无异常；3.30夜班凌晨开始将3-4降温；已经确认小氮流量无异常、外围排风无异常。; 3月31日早上对降温后的3-4管重新进行温度自整定，自整定后月12:30开始试片，试片方阻仍然偏低。下午对3-4（异常管）和4-1（正常管）进行小氧和大氮的流量鼓泡检查对比，4-1鼓泡正常，检查3-4时不鼓泡，检查管路时，发现当手碰触到3-4炉管后的大氮和小氧的管子合并处的三通阀门时，突然出现部分鼓泡，拧紧次阀门后鼓泡正常，试片后3-4管方阻恢复正常。 小氧、大氮流量异常，修复后正常。; 4月1日下午对3-4的积液瓶拆卸清洗后重新安装后生产的第一管突然出现炉口方阻偏小的情况，3-5、3-6也在同一时间出现轻度炉口方阻偏小的情况，检查各管路鼓泡情况无异常，继续跟踪确认，未做调整，扩散方阻自然恢复正常。原因待查。 ; 4月2日观察几管方阻已正常，更改各流量，使之恢复到异常之前的流量数值，分两步调试到位，调试结束，方阻调整正常，夜班跟踪正常。4月3号观察有波动，但方阻还在要求范围，偶尔还是有偏大偏小的。; 4月4日又出现方阻偏小的现象，咨询厂商建议更换成其它炉管的程序，更换程序后试片，方阻仍然偏低；将抽风开度开大试片，方阻仍然偏低。4月4日下午5点钟发现3-4管的炉管较其它炉管偏亮，怀疑炉内温度高于显示值，右图为三个不同位置观察3-4、3-6炉管内亮度情况。夜班对3-4管降温处理。; 怀疑显示温度可能小于实际温度，查询相关资料也有类似知识，如图：; 4月5日和设备一起检查温度情况，发现当拔下3-4管的热电偶接触片时，温控器显示正常，并无异常报警，将3-4、3-5、3-6三管的所有供电关掉重启后，仍然如此，抽查扩散其它炉管均无此现象。; 检查与热偶管连接线时发现连接线有一段被腐蚀成褐色的了，如右图所示：; 用万用表测量同一根线路中正负两极之间的电阻，发现为0短路状态，将腐蚀段剪掉后重新连接进行测量方阻为无穷大，恢复正常，怀疑偏磷酸腐蚀导致的短路，由于3-4管的线路偏长，剪掉1米左右的腐蚀线后连接长度刚好够长。连接后调试正常，3-4恢复。; 4月8日对3-5管的热偶管连接线路进行维修，由于3-5管线路刚好够长，无法再进行剪短了，因此决定将同一条线腐蚀部分的两根正负电线分开用胶带单独固定，解决短路问题，3-5恢复正常。4月9日同样方法解决3-6管异常，3-6恢复正常。至此3-4、3-5、3-6管彻底恢复。; 小结：此次异常主要是偏磷酸聚集在尾排台面，顺着热偶管连接线往下流，导致连接线严重腐蚀短路，从而使温度显示值低于实际值，造成方阻偏低的异常。 后续计划：工???和设备会在近期将扩散所有炉管的热偶管连接线全部检查一遍，防止类似事件再次产生。 ;17