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PAGE 1 ASM Taiwan 811高雄市楠梓加工出口區東三街4-2號 傳真專線:(07)367-6399 電話:(07)367-6300 PAGE 1 PAGE 2 AB 339操作手冊 本文件包含專屬於ASM Technology Singapore Pte. Ltd. 的資料。本出版物未經ASM Technology Singapore Pte.事前書面同意不得複製影印、儲存於擷取系統或傳送。本文件中的資料得隨時變更,而不事先通知。 ALIGNMENT OF ELEV WORKHOLDER CENTER LINE 檢查步驟 : 放入W/H ELEV CTR ALIGN JIG ASSY於升降台 (Elevator) 中 調整JIG與升降台Y軸之橡皮墊的間距必須為1.1mm Top View Side View 放入W/H SETUP GAUGE於JIG與軌道 (WorkHold) 中間,移動JIG檢查升降台是否與軌道??行 調整步驟 : 將Elevator之Kicker module拆下 放鬆升降台之固定螺絲 手動調整升降台之前後與角度,讓W/H SETUP GAUGE能在JIG與軌道中間平順移動 鎖緊升降台之固定螺絲 重新調整升降台之定位板 SETUP ELEVATOR X-AXIS MGZN GUIDE GAP BETWEEN MAGAZINE 檢查步驟 : Elevator X-axis與Magazine之間的空隙必須為0.5~1mm Mgzn Guide與Magazine之間的空隙必須為1~1.5mm 1~1.5 0.5~1 調整步驟 : Elevator X-axis之空隙調整: (1) 進入WH menu? Service? Mv Dep Data ? LR Xele (2) 調整X motor的補償值 Mgzn Guide之空隙調整: (1) 進入WH menu? Service? Mv Dep Data ? LR Yele (2) 調整Y motor的補償值 3. 進入WH menu? Service, 設定mag clamp in Y=250 (130 default) mag clamp open (Y)=170~200 (100 default)

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