薄膜制程.ppt

IR-CUT表面缺陷的觀察和改善 輔 導 老 師 ：李德美 老師 廠區指導老師: 邱彥錕 經理 學 生：卓士盟 IR-CUT IR-CUT是指紅外線濾光片，在玻璃片上鍍上光學薄膜，維持可見光穿透，這個濾光片可以矯正影像感測器對紅外線敏感的缺陷，每一個數位相機鏡頭至少都需要至少一片搭配 。 一. 摘要 經由取出的樣品觀察，發現即使有經過清理機台， IR-CUT的鍍膜表面仍有膜屑、灰塵。 本報告的研究是在討論如何改變IR-CUT的鍍膜環境來降低表面的particle和缺陷的數量。 二. 問題的假設 鍍膜機運作時會將內部抽真空，抽真空的過程會有氣流會把機台內底層或頂層的鍍膜屑、灰塵捲起來，故使的上層待鍍的玻璃片沾上 。 玻璃片置於一般環境下會吸附空氣中的自由電子，會發生靜電的現象，產生靜電的玻璃片在鍍膜時會和灰塵或膜屑吸附 。 三. 實驗的設計 將鍍膜機頂層和底層的部份清理乾淨，讓機器在抽真空時產生氣流，減少灰塵和膜屑被捲起。 將鍍膜前的玻璃片通過靜電槍，藉由靜電槍發射出的電荷將帶電玻璃片中和之，減少靜電吸附的現象。 四. 樣品的準備 本實驗所用的樣品取自#A、#A2、#A3、#A4、#B不同編號的鍍膜機台，各機台取10片IR-CUT作為樣品。 五. 驗證 本實驗以#A4機作為驗證對象。先把機台內的上部份和底層清理乾淨，再將玻璃片6片至靜電槍去靜電，之後放入機器內鍍膜。 由於每一片IR-CUT上面的缺陷數量不一，所以必須要做密度的觀察和統計。 取樣的#A、#A2、#A3、#A4、#B編號，每個編號取5片，以每1mm2為單位，於試片表面上取8個位置，觀察和統計缺陷的數量。 有大於30μm、大於20μm和不計大小的分類方法，並以累加的方式完成統計，並將得到的數據換算成密度比率。 綜合各機台的試片觀察得到缺陷的種類 空孔(凹槽) 長條狀凹槽 顆粒(不可移動) 顆粒(可移動) 可移動的顆粒是可以用清洗機清除的，所以不具探討價值，因此本實驗所需的缺陷是以不可移動為主。 綜合上述方法得到#A4機的(未去靜電.未清理機台) 、(未去靜電.清理機台)、(去靜電.清理機台) 三種密度比率的結果。 原#A4機台(未去靜電.未清理機台)密度比率 #A4機台(未去靜電.清理機台)密度比率 #A4機台(去靜電.清理機台)密度比率 整理出結果如圖 六. 結論 A4機台經過了鍍膜機頂層和底層的部份清理乾淨，無論大於30μm、大於20μm、不計大小，和原來的#A4機台比較，都有明顯的改善。 考慮是否有靜電中和的方法下，從上頁圖中可看出，在大於20μm的缺陷，經由靜電中和的表面缺陷變少了，但是小顆粒反而比較多，這結果說明此方法，能有效降低大顆粒缺陷的數量。 * * *