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滚轮式奈米压印设备与技术
2012台北國際自動化科技大展
產學合作成果發表
專案/研究主題 滾輪式奈米壓印設備與技術
學校系所：中原大學 機械工程學系
計畫主持人： 李有璋 教授
計畫重點：微奈米尺寸的加工常受制於製程繁複以及費用太高等因素，因此本研究結合軟性奈米
轉印技術、紫外光硬化奈米轉印技術、滾輪式壓印技術，自行開發設計滾輪式奈米壓
印設備並搭配紫外光固化技術來達到縮小線寬尺寸的目的，其製程簡易且費用經濟。
滾輪式奈米壓印設備主要有三種技術所組成：
1. 軟性奈米壓印技術：可適用於非平面的壓印製程，也不會在壓印時造成模具損壞。
2. 紫外光固化奈米壓印技術：此技術可在常溫、常壓下進行，不需要較嚴苛的條件限
制。
3. 滾輪壓印技術：滾輪壓印時與基板為線接觸，可以讓我們有效的控制壓印均勻性，
且以漸進式的壓印來解決壓印時所產生的氣泡問題。
效益/特色： 本設備僅需以低溫(室溫)、低壓(0.58~14.5 Psi)、大面積、製程速度快、製程簡單、設
備成本低、可適用於非平面的壓印製程..等優點，不需要很嚴苛的條件限制，主要有以
下研究成果：
1. 應用在LED製程上，使發光效率有顯著提升
2. 應用在太陽能電池製程上，大幅提高光電轉換效率
3. 應用在圖案畫藍寶石基板上
4. 應用在奈/微米圖案轉印
教授專長：光機整合、奈微米與製程與光學設計、LED製程與封裝技術、雷射精密加工
系統架構：
滾輪壓印示意圖 設備外觀及壓印
LED製程應用實
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