微电子工艺1要点分析.ppt

微电子工艺;课程安排及要求; 参考文献;绪 论;微电子学 Microelectronics;所谓微电子是相对“强电”、“弱电”等概念而言，指它处理的电子信号极其微小。 微电子学是研究在固体（主要是半导体）材料上构成的微小型化电路、子系统及系统的电子学分支。;;微电子学是一门综合性很强的边缘科学;微电子技术是基于半导体材料采用微米级加工工艺制造微小型化电子元器件和微型化电路的技术。;;集成电路（ Integrated Circuit，缩写IC ）;封装好的集成电路;Vdd; 硅单晶片与加工好的硅片;集成电路芯片的显微照片;封装好的Intel奔腾CPU; 100? m 头发丝粗细;微电子技术的发展;集成电路的制造;微电子的特点总结;微电子的特点总结;一些关键的微电子技术;一些关键的微电子技术; 年代 技术 发明人 1971 分子束外延MBE Cho 1971 微处理器 microprocessor Hoff 1982 沟槽隔离 trench isolation Rung Momose 1989 化学机械抛光 chemical-mechanical Davari 1993 铜布线 Paraszczak ;;化学汽相淀积 CVD;离子注入;干法刻蚀;柴可拉斯基 晶体生长 Czochralski法（CZ法）;CZ拉单晶炉;;;集成电路发展主要经历了六个阶段：;1947年12月23日 第一个晶体管 NPN Ge晶体管 W. Schokley J. Bardeen W. Brattain ;;1958年第一块集成电路：TI公司的Kilby，12个器件，Ge晶片;Noyce发明的第一块单片集成电路;集成电路的发展;集成电路的发展;第一个CPU：4004 ;摩尔定律（CPU的发展）;摩尔定律（CPU的发展）;摩尔定律（CPU的发展）;摩尔定律（CPU的发展）;摩尔定律（CPU的发展）;摩尔定律（CPU的发展）;摩尔定律（CPU的发展）;摩尔定律（CPU的发展）;摩尔定律（CPU的发展）;分布时间：2000年11月 工艺：0.18/0.13um CMOS 晶体管数：4200万 时钟频率：1.7~3.06GHz ;不断提高产品的性能价格比是微电子技术发展的动力 集成电路芯片的发展 规律—— 摩尔定律