BallRoom型潔淨室-節約能源園區.ppt

2005 經濟部節約能源績優廠商觀摩會聯華電子 Fab12A 廠潔淨室採“Ballroom+SMIF”系統暨FFU轉速調整 王傑明 j_m_wang@ 空調組 技術經理 廠務暨擴建工程部/Fab12A廠務工程 簡報綱要 潔淨室的分類 潔淨室系統分類 潔淨室空氣循環動力形式 潔淨室種類 什麼是SMIF Mini-Environment的概念 節能最佳化的潔淨室選擇 FFU轉速調整節能成效分析 潔淨室系統之分類 潔淨室分類: 依氣流流動方式 層流(Laminar Airflow )式 亂流(Turbulent Airflow)式 層流 + 亂流 混合(Mixed Airflow)式 依建築物結構 雙層潔淨室式 三樓層式 單樓層式 依潔淨室結構 Ball room Bay and Chase 依潔淨室氣流(Airflow)之分類 依潔淨室建築結構之分類 依潔淨室建築結構之分類 依潔淨室建築結構之分類 依潔淨室結構之分類 潔淨室空氣循環動力形式—循環空調機 潔淨室空氣循環動力形式—軸流風扇 潔淨室空氣循環動力形式—FFU系統 Ball Room型潔淨室 Ball Room型潔淨室FFU配置 1.全區採同一潔淨等級設計，並無生產區及維修區之區分 2.一般採用潔淨等級 Class 100 或 Class 1,000之設計 3.FFU採全區均佈配置 Ball Room型潔淨室 Bay and Chase 潔淨室 Bay and Chase型潔淨室FFU配置 1.全區依不同潔淨等級需求設計，並以隔間牆區分生產區及維修區之區分 2.生產區採用潔淨等級 Class 1設計，維修區採用 Class 1,000之設計 Bay and Chase 潔淨室 什麼是 SMIF ? 1.SMIF : Standard Mechanical Interface標準機械介面的 縮寫 2.提供設備與晶圓間一標準的傳輸介面裝置 3.300mm SMIF設置及設計參考規範 2-1.SEMI-15.1-1104 Specification for 300 mm Tool Load Port 2-2.SEMI-19-0697 Standard Mechanical Interface (SMIF) 2-3.SEMI-19.5-0996 Specification for 300-mm Bottom- Opening Standard Mechanical Interface (SMIF) SMIF的用途 1.於各種不同品牌之生產設備中，提供一種標準介面裝置，以供傳送系統或操作人員讓晶圓出入設備內部進行生產。 2.可保護晶圓於出入設備、傳送與儲存過程中，免於遭受外氣污染物質之污染。 SMIF與潔淨室系統的關聯 SMIF為晶圓傳送與機台間之介面裝置，因此當裝載晶圓之晶舟盒開啟後，即需提供一超潔淨之環境，以避免晶圓遭受污染 此一超潔淨之環境可由廠務之潔淨室系統或機台本身之FFU提供 Bay and Chase潔淨室因於生產區即為Class 1之環境，因此勿須再另行架構超潔淨之環境 Ball room潔淨室因環境均為Class 100/1,000之潔淨度，所以需另行架構超潔淨之環境，以避免晶圓遭受污染 Mini-Environment的概念 以Ball room為架構之潔淨室，因僅需針對晶圓會暴露於環境中的區域架設超潔淨環境，而不需大費周章進行全區環境潔淨度之提昇，因此，我們將此一局部超潔淨之區域稱為〝Mini-Environment〞 Mini-Environment的架構可由廠務FFU系統延伸及機台本身建構FFU系統兩種 相關建構概念如後附圖說明 Mini-Environment的概念 Mini-Environment的概念 Mini-Environment的概念 Mini-Environment的概念 節能最佳化的潔淨室選擇 空氣動力循環採用FFU系統 採用Ball room型潔淨室 Mini-Environment的建構由生產設備提供 選擇大尺寸的FFU，如1,200 x 600 mm改為1,200 x 900 mm或1,200 x 1,200 mm FAB採“Ball Room + SMIF”系統節能成效分析 FAB採SMIF設計理念： 生產設備機採SMIF Mini-environment設計。 無塵室採全區Ball room亂流式設計。 採用FFU (Fan Filter Unit)系統無塵室。 無塵室潔淨度需求: 一般生產區 Class 100 晶片裸露區 Class 1 FAB採SMIF設計效益： 潔淨室操“Ball room + SMIF”系統設計，FFU安裝台數較“Bay & Chase”潔淨室操作區(採100% F