工序质量检验规范-曝光线路.docVIP

修 改 记 录 页 次 版 本 修 改 内 容 修改日期 6 A/1 全面更新 2016-12-17 受控文件分发记录 序号 分发部门 会签 分发份数 接收签名 受 控 文 件 回 收 记 录 回收份数 回收签名 回收日期 1 文控中心 1 2 人事部 3 工程部 4 管理部 5 计划部 6 维修部 7 品质部 1 8 财务部 9 业务部 10 采购部 签署栏 批 准﹕ 陈 美 荣 签 名﹕____________ 日 期﹕____________ 审 核﹕ 何 兵 兵 签 名﹕_____________ 日 期﹕_____________ 编 制﹕ 田 兴 国 签 名﹕_____________ 日 期﹕_____________ 1.0目的 制定线路图形转移工序的检验方法和允收标准,使检验工作有章可循,有据可依。 2.0检验方式 2.1首检 首板生产出来,经生产工序/图转工序QC自检合格后交IPQA首件确认。 2.1.1.图转工序QC全检 图转工序QC人员须针对于线路显影之后的板进行100%全检; 2.2.过程抽检 2.2.1当站IPQA检验人员针对于生产QC全检合格后的板进行抽检; 2.2.2抽样方法与允收水准: 2.2.2.1 正常情况下,每架板以25PNL计必须抽7PNL进行检验; 2.2.2.2 在以下情况时,检验员可以进行放宽或是免抽检,即当线路图形十分简单,最小线宽﹑线距在2-3mm以上时,每架板以25PNL计可抽取3PNL进行放宽抽检或是考虑进行免检; 2.2.2.3 在以下情况时,检验员可以进行加严抽检﹕ 2.2.2.3.1 当线宽﹑线距≦0.15mm时,检验员可将抽检的比例由7PNL增加至12PNL; 2.2.2.3.2 对于客户要求严的板,检验员可将抽检的比例由7PNL增加至12PNL; 2.2.2.3.3 对于同一型号板,批量返工率达到30%以上时,检验员可将抽检的比例由7PNL增加至12PNL; 2.2.2.4.允收水准 以上抽检的允收水准均按照0收1退作处理,即每一个抽检批次中只要有一片板不合格,便算作该批次板不合格。 3.0检验工具 MI/LOT卡﹑100倍带刻度放大镜﹑10倍放大镜﹑检验光台、千分尺、卡尺 4.0检验项目 4.1工艺要求 4.2最小线宽/最小线距 4.3断/连线 4.4线路的外观质量 4.5对位质量。 5.0缺陷名称 线粗﹑线细﹑线凸、缺口、沙眼﹑开路﹑短路﹑显影不净﹑显影过度﹑偏孔、破孔、湿膜入孔﹑线路划伤等、曝光不良、板材不符（板厚、材质、铜箔厚度）。 6.0检验步骤 6.1图形转移工序QC及QA在检验前,检验员须准备好MI/LOT卡﹑10倍放大镜﹑100倍放大镜﹑修板刀﹑油性笔等相关的检验数据以及检验工具并放置于检验台面上; 6.2首板检查 6.2.1每套菲林上机作2PNL首件,经生产工序/图转工序QC自检合格后交QA首件确认。 6.2.2检验时,检验员须戴干净的白手套,并结合MI/ LOT卡上的要求逐项进行检验; 6.2.2.1检查板面的型号﹑版本号与MI/LOT卡上的型号﹑版本号是否一致; 6.2.2.2检查上工序检验人员是否有对该板的质量进行签卡确认; 6.2.2.3检查板子的生产工艺流程是否与LOT卡上的要求相符，检查所使用的板材（CEM-1 FR-1 FR-4 HB 22F）是否跟LOT卡一致，检查所使用的板材厚度（0.6 0.8 1.0 1.2 1.5 1.6MM）是否跟LOT卡一致; 6.2.2.4检验员在抽检过程中需针对每个型号板测量最小线宽与线距,抽测频率为：每班每个型号测量一次,测量位置为四角加中间共五点,然后根据要求判定是否合格,同时作好相关记录; 6.2.2.5对于客户有要求时,需对邦定位的IC手指宽度进行测量同时做好记录; 6.2.3检查图形是否有偏移; 6.2.4以10倍带光源放大镜检查线路图形上是否有断﹑连线﹑线路凸出﹑线路缺口; 6.2.5湿膜板须检查各线路表面是否有划伤现象存在; 6.2.