PowerMEMS技术解答.ppt

燃烧室体积为5mm×3mm×1mm（0.015cc），体面比为3.07mm-1。活塞的往复运动能通过燃烧爆发力与弹簧反力之间的平衡来维持。氢气与氧气按照一定的当量比（μ=1）混合后作为燃料射入燃烧室。该MEMS IC发动机能获得最大压力达142kpa、排量9.5mm3、最大功率达29.1mW。 四冲程微型摆式内燃机（MICSE） 密西根大学的研究人员创造性的提出了四冲程微型摆式内燃机（MICSE—Micro internal Combustion Swing Engine） 它是第一个专门为微型发电系统设计的内燃机 它是第一个专门为微型发电系统设计的内燃机。 图1.13 中，几何对称的中心摆将两个扇形腔分隔成 4 个容积可以变化的 A、B、C、D 燃烧室。 以四冲程方式工作的MICSE在四个行程的工作过程中始终有一个燃烧室在做功； 假如A燃烧室处于做功行程，则B、C、D燃烧室分别处于压缩、吸气、排气行程，即点火顺序为A、B、C、D。 显然，这种内燃机的最大优点是结构简单、紧凑，空间和重量利用率高，且只有一个运动部件。可制造性不再象缩小的传统内燃机那样难以解决。 但是，由于采用四冲程方式工作，使得设计者在实际过程中仍然不能摆脱常规传统内燃机复杂的进、排气机构,使得系统的控制及结构又变的复杂化。 重庆大学2009方案-廖照邦 微型自由活塞火花点火发动机 Allen等人(2001年)研制了一种自由活塞火花点火(SI)发动机。 发动机使用铁磁体为活塞，一套永磁体为发电装置。其目标发电量为20w，活塞振动频率为25～50Hz。 装置通过燃烧释放的能量及动力，推动自由活塞在缸内往复运动，切割磁力线产生电能。 微型HCCI自由活塞发动机 Yang等人(1999年)提出了一种自由活塞发动机。 该机型使用两个反向活塞和永磁体来产生电能。虽然比较类似自由活塞火花点火发动机，但由于Yang使用了均质压缩燃烧(HCCI)技术，所以两者有本质上的不同。 微型涡喷发动机 南京航空航天大学 （厘米级发动机） 微型旋转冲压发动机 西安交通大学 微型脉冲发动机 清华大学 尺寸约÷17mm×20ram，其中燃烧腔体积为760mm3。采用丁烷作为发动机工质，利用电火花实现脉冲点火。 已研究的关键技术内容有： 1.发动机形式——采用或考虑采用的有汪克尔（Wankel）、布雷顿（Brayton）、四冲程（Otto）、兰金（Rankine）、回转式、线性和平板式自由活塞发动机等。 2.加工工艺——电火花加工、硅芯片制造工艺、反应离子蚀刻技术等。 3.材料———纳米塑料材料、陶瓷基材料、硅和氮化硅等。 4.燃料——氢气、丙烷+催化剂、丁烷等。 5.点火装置——采用陶瓷棒及镍、银、白金掩膜和镍电镀制作的电火花塞。 6.轴承——空气轴承、微加工轴承等。 尚待解决的问题 （1）较多的研究集中在将微电子制造工艺扩展到Power MEMS制作方面，对各种MEMS系统应用的实际需要和特点（如功率量级、供电时间、几何尺寸要求等）分析不够。 （2）多数研究寿命指标难以提高。而现有的燃烧+热电装置的方案，则存在效率偏低的问题。 （3）MEMS的一些应用场合有隐蔽性、安全性要求，如避免红外探测、不能引起火灾等，这是单纯的燃烧料室方案难解决的问题。 （4）基于MEMS技术的微型涡轮发动机、微型汪克尔发动机、微型蒸汽轮机等实质都是将现有宏观尺度的热机进行比例微缩形成的中介尺度热机概念，其工作过程和原理同宏观尺度是相同的。随着几何结构特征的细尺度化、Power MEMS体现出不同于宏观尺度下热机的流动特征， 在细尺度条件下，Power MEMS超高燃烧负荷率微型燃烧器的若干参数（燃烧空间、驻留时间、平均流速、入口压力和温度等）与常规燃烧器有相当大的差别，微型燃烧器的燃烧很可能是层流燃烧而不是通常的紊流燃烧（Re≈900～1500M≈0.04～0.08）；在燃烧室喷射管出口存在火焰不能保焰的可能性；燃料在微细燃烧空间（体积4×10-8m3，驻留时间0.5ms）很难完全燃烧；壁面的传热和消焰作用对微细空间燃烧过程的影响尚有待研究。 （5）结构的制造（碳化硅蚀刻体微加工工艺）和材料强度（1700K高温条件下的结构强度和较低的导热系数）、微电机与转子动力学与气体轴承（超高转速工作稳定性及微尺度气体动力润滑机理）等方面。 这些问题在相当大的程度上导致了Power MEMS国际研究难以取得更大的突破。 上海理工大学 能源与动力工程学院 王宏光 2011-12-26 引 言 微型发电机（Power MEMS）是微机电系统（MEMS）的动力装置，还可以作为微型汽车、微型飞机、微型泵等微型机械的动力设置。 与电池相比，特点是能量密度大。 从动力机械发展的历史进程看，每当能源装置的能量密度产生一个