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双频激光干涉仪标准装置不确定度分析与表示吕宏
48 《计量与测试技术》2007年第 34卷第 9期
双频激光干涉仪标准装置不确定度分析与表示
Double Frequency Laser Interferom eter Standard Installm ent Evaluation
and Expression of Uncertainty in M easurem ent
吕 宏 田 鹏
( 德阳市计量测试所, 四川 德阳 518000)
摘 要: 本文详细介绍双频激光干涉仪标准装置的不确定度分析与表示。
关键词: 双频激光干涉仪; 不确定度; 自由度
1 概述
1. 1 测量 依据: JJG22- 2003《内径 千分 尺检 定规
程》, JJG04- 1999《钢卷尺检定规程》。
1. 2 环 境 条件: 温 度 ( 20 ? 1) e , 相对 湿 度 ( 55 ~
70)% RH。
1. 3 测量标准: 激光干涉仪测量范围: ( 0~ 30) m, 扩 图 2
展不确定度: ( 0. 2+ 0. 5L) Lm, k = 2。 1) 测长机固定尾座 2) 测长机测帽 3) 支点
1. 4 测量标准对象: 大内径千分尺 (包括量杆 ), 钢卷 4) 大内径千分尺 5) 大内径千分尺微分头 6) 移动座
7) 反射镜 8) 激光干涉仪
尺 包括精密 尺 。
( P ) 1. 5. 3 钢卷尺 (包括精密 P尺 )测量过程 (如图 3)所
1. 5 测量过程 示
激光干涉仪测量原理。本双频激光干涉仪标
1. 5. 1 将钢卷尺放置在测长机导轨面上, 调整钢卷尺与
准装置 由双频激光干涉仪与 米测长机组成。通过
, 20 激光干涉仪运行方向平行, 以减小阿贝误差。测长机
由双频激光干涉仪发出的双频激光束 测量安放在测
, 的移动测量座上附加瞄准用读数显微镜, 精确对准钢
长机上的被测对象 其有效测量范围 米。
, 20 卷尺的起始刻线, 激光测量软件起始位复零。通过移
动测量座, 在被要求检测的刻线处用读数显微镜再次
瞄准, 并在测长 机干涉 仪读数 系统上 读出准 确位移
值, 即为钢卷尺刻线之间的长度值。
图 1 激光干涉仪测量原理图
1. 5. 2 大内径千分尺 (包括量杆 ) 测量过程 (如图 2 图 3
所示 ) 1. 6 测量方法
通过测长机固定尾座测杆上的测帽
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