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耐磨涂层毕业论文
山东大学硕士学位论文
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目 录
TOC \o 1-3 \h \z HYPERLINK \l _Toc135972746 摘 要 PAGEREF _Toc135972746 \h I
HYPERLINK \l _Toc135972747 ABSTRACT PAGEREF _Toc135972747 \h III
HYPERLINK \l _Toc135972748 第一章 绪 论 PAGEREF _Toc135972748 \h 1
HYPERLINK \l _Toc135972749 1.1 选题的意义 PAGEREF _Toc135972749 \h 1
HYPERLINK \l _Toc135972750 1.2 耐磨涂层的制备技术 PAGEREF _Toc135972750 \h 2
HYPERLINK \l _Toc135972751 1.2.1 化学气相沉积 PAGEREF _Toc135972751 \h 2
HYPERLINK \l _Toc135972752 1.2.2 物理气相沉积 PAGEREF _Toc135972752 \h 2
HYPERLINK \l _Toc135972753 1.3 耐磨涂层的发展现状 PAGEREF _Toc135972753 \h 5
HYPERLINK \l _Toc135972754 1.3.1 硬涂层 PAGEREF _Toc135972754 \h 5
HYPERLINK \l _Toc135972755 1.3.2 软涂层 PAGEREF _Toc135972755 \h 7
HYPERLINK \l _Toc135972756 1.3.3 硬软复合涂层 PAGEREF _Toc135972756 \h 9
HYPERLINK \l _Toc135972757 1.4 耐磨涂层的作用机理和影响因素 PAGEREF _Toc135972757 \h 9
HYPERLINK \l _Toc135972758 1.4.1 刀具磨损的原因 PAGEREF _Toc135972758 \h 9
HYPERLINK \l _Toc135972759 1.4.2 耐磨涂层的作用机理 PAGEREF _Toc135972759 \h 9
HYPERLINK \l _Toc135972760 1.4.3 影响涂层刀具性能的因素 PAGEREF _Toc135972760 \h 10
HYPERLINK \l _Toc135972761 1.5 本课题的背景和由来 PAGEREF _Toc135972761 \h 11
HYPERLINK \l _Toc135972762 1.6 本课题的研究内容 PAGEREF _Toc135972762 \h 11
HYPERLINK \l _Toc135972763 第二章 实验方法及原理 PAGEREF _Toc135972763 \h 13
HYPERLINK \l _Toc135972764 2.1 磁控溅射离子镀原理???设备 PAGEREF _Toc135972764 \h 13
HYPERLINK \l _Toc135972765 2.1.1 磁控溅射离子镀原理 PAGEREF _Toc135972765 \h 13
HYPERLINK \l _Toc135972766 2.1.2 磁控溅射离子镀偏置基体的伏安特性 PAGEREF _Toc135972766 \h 13
HYPERLINK \l _Toc135972767 2.1.3 封闭场非平衡磁控溅射离子镀设备 PAGEREF _Toc135972767 \h 15
HYPERLINK \l _Toc135972768 2.2 涂层试样的制备 PAGEREF _Toc135972768 \h 16
HYPERLINK \l _Toc135972769 2.2.1 基体材料的选取与基体预处理 PAGEREF _Toc135972769 \h 16
HYPERLINK \l _Toc135972770 2.2.2 涂层沉积工艺设计 PAGEREF _Toc135972770 \h 16
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