第章電容传感器.pptVIP

第三章 电容式传感器; 一、变面积式电容传感器 电容： ;变面积式电容传感器的派生形式：;变面积电容传感器的灵敏度为常数，即输出与输入呈线性关系！！！！这一类传感器多用于检测直线位移、角位移、尺寸等参量。; 二、变间隙式电容传感器; 只有 时，变间隙式电容传感器才是近似线性的。而为了提高灵敏度，总是使初始极距d0尽量小些，但这也带来了变极距式电容器的行程较小的缺点。并且d过小又容易引起击穿，加工精度要求也很高。实际应用中，为了提高灵敏度，减小非线性，可采用差动式结构。 ;三、变介电常数式电容器：;相当于两电容并联：; 电容与x的关系推导如下：; 当某种介质处于两极板间时，介质厚度δ 越厚，电容量也就越大。 当介质厚度δ保持不变、而相对介电常数εr改变，如空气湿度变化，介质吸入潮气（ εr水1）时，电容量将变大。 当被测液体（绝缘体）的液面在两个同心圆金属管状电极间上下变化时，引起两电极间不同介电常数介质（上半部分为空气，下半部分为液体）的高度变化，因而导致总的电容量变化。 因此，变介电常数式电容传感器可以检测片状材料的厚度、性质，含水量以及测量液体的液位等。 ;差动电容传感器结构示意图 a）差动变极距式 b）差动变面积式 1－动极板 2－定极板;第三节 电容式传感器测量电路;一、普通交流电桥：要求提供幅值和频率很稳定的交流电源，并要求电桥放大器的输入阻抗很高 ;二、紧耦合电感臂电桥：抗干扰能力强，稳定性高，适合高频 电源下工作;三、变压器电桥：使用元件最少，桥路内阻最小，因此目前较多采用。 ;如果变压器电桥的Z1、Z2采用两个变间隙电容（差动式），有;四、双T电桥;负半周：C2充电，C1放电;如果C1=C2，R1=R2=R， 则正、负半周对称;五、运算放大器式测量电路;六、脉冲调制电路;初始C1=C2，M、N等间隔0、1翻转， 输出平均电压为0。;对于差动式变极距型电容传感器：;可见差动脉冲调制电路能适用于任何差动式电容传感器，并具有理论上的线性特性。该电路采用直流电源，电压稳定度高，不存在稳频、波形纯度的要求，也不需要相敏检波与解调等；对元件无线性要求;初始振荡频率：;补充：电容式传感器的特点;（2）结构简单，适应性强 电容式传感器结构简单，易于制造。能在高低温、强辐射及强磁场等各种恶劣的环境条件下工作，适应能力强，尤其可以承受很大的温度变化，在高压力、高冲击、过载等情况下都能正常工作，能测超高压和低压差，也能对带磁工件进行测量。此外传感器可以做得体积很小，以便实现某些特殊要求的测量。;3．动态响应好 电容式传感器由于极板间的静电引力很小，（约10-5N），需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几MHz的频率下工作，特别适合动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数，如测量振动、瞬时压力等。;4．可以实现非接触测量、具有平均效应 当被测件不能允许采用接触测量的情况下,电容传感器可以完成测量任务。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。 ;电容式传感器除上述优点之外，还因带电极板间的静电引力极小，因此所需输入能量极小，所以特别适宜低能量输入的测量，例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力非常高。 ;2.电容式传感器的缺点 (1)输出阻抗高，负载能力差 电容式传感器的容量受其电极几何尺寸等限制，一般为几十到几百pF，使传感器的输出阻抗很高，尤其当采用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达106～108Ω。因此传感器负载能力差，易受外界干扰影响而产生不稳定现象，严重时甚至无法工作，必须采取屏蔽措施，从而给设计和使用带来不便。; 容抗大还要求传感器绝缘部分的电阻值极高（几十MΩ以上），否则绝缘部分将作为旁路电阻而影响传感器的性能（如灵敏度降低），为此还要特别注意周围环境如温湿度、清洁度等对绝缘性能的影响。;(2)寄生电容影响大 传感器的初始电容量很小，而其引线电缆电容(l～2m导线可达800pF)、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大。;(3)输出特性非线性 变极距型电容传感器的输出特性是非线性的，虽可采用差动结构来改善，但不可能完全消除。其他类型的电容传感器只有忽略了电场的边缘效应时，输出特性才呈线性。否则边缘效应所产生的附加电容量将与传感器电容量直接叠加，使输出特性非线性。 ;第三节 电容式传感器的应