第9章 谐振式传感器探讨.ppt

第9章 谐振式传感器;第9章 谐振式传感器;第9章 谐振式传感器; 2.MOS环振式数字加速度传感器 环形振荡器最基本的形式是由奇数个首尾相连成闭环的反相器组成，如图所示。输出频率与每个门的平均延迟时间及门的数目成反比。;第9章 谐振式传感器;第9章 谐振式传感器;第9章 谐振式传感器;第9章 谐振式传感器;第9章 谐振式传感器;9.1 谐振式传感器的类型与原理;9.1 谐振式传感器的类型与原理;9.1.1 谐振式传感器的类型;9.1.1 谐振式传感器的类型; 用石英晶体振子可制成性能优良的压电式谐振传感器。振子常为膜片状或梁状，按振子上下表面形状又分为扁平形、平凸形和双凸形三种。其中双凸形振子Q值最高可达106～107，因而较多采用。石英晶体的振动模式有长度伸缩、弯曲、面切变和厚度切变等，其中厚度切变是主要的应用模式。; 根据能陷理论，选择谐振子外形的主要依据是径向尺寸f和晶片厚度h之比值的大小。一般，在f/h＜15时，采用双凸形。通常h取0.2～0.5 mm。双凸形晶片的优点是边缘效应小，振动活力高，能抑制其他耦合作用。但加工较复杂。 当15＜f/h＜45时，采用平凸形，优点是边缘效应小，振动活力较高，频率温度特性曲线一致性较好。 f/h＞45时，采用扁平形。;9.1.1 谐振式传感器的类型;9.1.1 谐振式传感器的类型;9.1 谐振式传感器的类型与原理; 设振子等效刚度为ke，等效振动质量为me，则振子谐振频率f可近似表示为; 1.谐振频率 以振弦式谐振传感器为例求其谐振频率。如图所示，一根两端固定，长度为l，线密度(单位长度质量)为r的弦，受到张力T作用。设振动幅度很小，可认为弦内张力不因振动而变。; 在x处取长度为dx的微段。考虑到微段的质量为rdx，及dq＝(?q/?x)dx，忽略重力的影响，则y方向运动方程为;9.1.2 谐振式传感器的基本原理; 假设上式的解为 ; 因方程左边与t无关，右边与x无关，所以两边必须都等于同一常量。令这一常量为－(w/u)2，即可得两个微分方程 ;其一般解为; 任意常数A、B、C、D取决于边界条件和初始条件。边界条件为y(0,t)＝y(l,t)＝0。y(0,t)＝0要求B＝0，即解必须具有如下形式;亦即要求振动角频率满足; 2.振动激励方式 为测出谐振频率，须设法激励振子振动。起振后，还需要及时补充能量。给振子补充能量的方式一般有两种：连续激励法和间歇激励法。 (1)连续激励法 是指按振子的振动周期补充能量，使其振幅维持不变。又可分为电流法、电磁法、电荷法和电热法等。; ①电流法。接通电源时，振弦内的冲击电流使振弦开始振动。若不考虑阻尼，外接线路无需再给振弦提供电流，即可依靠弹性力维持等幅振动，振动频率即谐振频率。; 然而阻尼总是存在的，除电磁阻尼外还有空气阻尼等。振弦在运动过程中切割磁力线产生感应电势，该电势通过外接闭合回路形成电流，使振弦受到大小正比于运动速度、方向和运动速度相反的磁场力的作用，此即电磁阻尼。 设想将上述感应电势测出来，然后通过正反馈在振弦两端加幅度相同、相位也相同的外接电势，则不会产生电磁阻尼。若外接电势略大于上述感应电势，还可消除其他阻尼的影响。; 电流法的缺点是：振弦连续激励容易疲劳，又因振弦通电，所以须考虑它与外壳绝缘问题。若绝缘材料的热膨胀系数与振弦的热膨胀系数差别大，则易产生温度误差。; ②电磁法，也称线圈法。这种方法在振弦中无电流通过。用两组电磁线圈，激振线圈用来连续激励振弦，感应线圈用来接收信号。通过外接电路形成正反馈，使振弦维持连续振动。;9.1.2 谐振式传感器的基本原理;9.1.2 谐振式传感器的基本原理; ④电热法。用半导体扩散工艺，在硅微桥上表面中部制作激振电阻，在一端制作压敏拾振电阻。激振电阻中通以交变的激励电流，产生横向振动。拾振电阻受到交变的应力作用，阻值周期性变化，通过正反馈电路使硅微桥按谐振频率振动。;9.1.2 谐振式传感器的基本原理;第9章 谐振式传感器;9.2 谐振式传感器的特性与设计要点;9.2 谐振式传感器的特性与设计要点;9.2.1 谐振式传感器的特性;将式(9.15)两边平方，并令Df＝f－f0，得 ;通常，通过选择合适的工作点可使Df/f01，从而可忽略上式中的平方项，得到近似的线性输出输入关系为; 忽略非线性项后，非线性误差d和灵敏度Sn分别为; 为了得到良好的线性关系，常常采用差动结构。通过差频电路测得两弦的频率差，则不仅能提高灵敏度，还可