等离子体刻蚀机常见故障及维护.docVIP

PAGE  PAGE 8 等离子体刻蚀机常见故障及使用注意事项 开机之前检查： 请检查设备的水、电、气、排废、抽风、接地、机械泵和射频电源是否处于正常状态。 水：对于带水冷的机械泵，请检查进水回水开关是否打开，压力是否合适（0.2~0.4MPa）; 电：检查外围控制柜空气开关是否合上，设备内部空气开关是否合上； 气：检查CF4、O2、N2和CDA进气阀是否打开，压力是否合适CF4/O2/N2（0.1~0.2MPa），CDA(0.3~0.5Mpa)； 排废：检查排废是否打开； 抽风：检查抽风是否打开； 接地：检查射频电源匹配盒上接地端子上接地线是否接地牢靠； 机械泵：检查机械泵油位是否正常，皮带轮是否偏离轴，是否太松动 射频电源：检查射频电源预热是否打开，匹配盒量程档选择是否正确，调谐旋钮和功率调节旋钮是否处于合适位置（如果是第一次辉光放电或状态改变需重调，详情参见），射频输出线是否接触良好 上电后检查： 开机检查无误后，按上电按钮，此时设备应该全部上电： PLC：PLC的各指示灯状态如下； 模块型号状态指示灯故障现象故障原因分析排除方法 DVP-16EHPOWERPOWER灯不亮检查Q1和Q3是否合上 检查F6保险指示灯是否变亮 检查PLC电源插头是否插好 检查K1是否吸合 检查外围供电是否正确将Q1和Q3合上 更换保险F6 重新将插头接牢 检查K1线圈线路 用万用表检查外围三相输入是否正确RUNRUN灯不亮检查STOP/RUN拨码开关是否打在STOP将STOP/RUN拨码开关拨向RUNERRORERROR变亮程序或PLC内部故障详情见PLC说明书BAT.LOWBAT.LOW变亮PLC内置电池电量低更好PLC内置电池 DVP-06XAPOWERPOWER灯不亮通讯线接触不好或损坏插好或更换ERRORERROR灯亮闪烁电源电压低检查电源电压A-DA-D不亮未与主机通讯上检查之间连线 文本显示器： 文本显示器未得电，不亮： 检查开关电源是否有24V电压输出； 检查文本显示器电源进线是否接触良好； 流量显示： 在所有阀未动作情况下，流量检测有显示 ??示流量很小时，请按以下步骤检查： 1) 首先检查是否零点偏差； 2) 再检查是否±15V电源故障； 3) 检查是否流量计问题，更换流量计以比较； 显示流量能达到设定值时,请按以下步骤检查 首先检查是否外围气体压力过大； 检查送气阀是否损坏； 检查流量计出口处卡套没卡好，导致入口出口有压力差； 检查是否是流量计故障，更换流量计以比较； 浮子流量计有流量显示，或反应室能听到充气声音 首先检查外围气体压力是否过大； 检查有故障显示支路的电磁阀是否损坏； 电磁阀损坏检查详情参见以下步骤： 先检查PLC是否有输出； 再用万用表检查是否PLC输出点被击穿； 如果检查电磁阀未得电也有流量通过，则应该是电磁阀损坏，更换以比较 开机械泵 按“机械泵开”按钮，机械泵不旋转 首先查看热继电器K3是否保护，即看热继电器的绿色弹片是否弹起，如果弹起就把弹片按下去； 然后再按“机械泵开”按钮，看交流接触器K2是否吸合，如果没有则检查K2线圈线路，具体线路参考图纸； 如果交流接触器K2吸合，机械泵仍不旋转，则检查保险丝F2F3F4烧毁指示灯是否变亮，如有，则更换变亮的保险丝； 如果保险丝F2F3F4完好，则用万用表量机械泵三相之间是否短路，同时检测外围三相输入是否正确； 10）如果外围三相输入正确，机械泵完好，则检查机械泵到电源进线端子排内部是否存在短路，具体线路参考图纸； 2. 按“机械泵开”按钮，机械泵启动一下马上停止 检查机械泵皮带是否过于松动，如果太松动的话则重新调电机位置使之处于合适位置； 检查是否由于缺相或短路所致，具体方法同上； 开始自动运行 按“运行”按钮，未执行自动程序： 首先查看自动/手动旋转开关是否打在手动档方向； 接着再看是否进入PLC面板手动操作界面； 如果上两项都正确，则查看PLC输入X3指示灯是否点亮，如果不亮就检查运行输入是否线路存在故障，具体线路参考图纸； 预抽界面 进入预抽界面，预抽阀不动作 首先检查PLC的STOP/RUN开关是否指向RUN方向，也可以通过看RUN指示灯是否点亮； 然后检查PLC预抽输出点Y0是否点亮； 如果上两项都正确，那么检查预抽阀对接插头是否接触良好； 如果以上还不能解决，则用万用表检查预抽阀对接插头电压是否正确，具体线路参考图纸； 预抽阀动作，但电接点压力表压力指针总停在压力上限位置 首先检查反应室上盖是否对齐压好； 再检查机械泵是否打开旋转； 再检查压差放气阀是否得电打开； 如果上述均无问题，则检查石英管是否裂开； 预抽时间到时压力