提高激光干涉小角度测量系统测量精度及误差修正的研究.pdf

维普资讯????????????????????? ????年 第 ?期? 文章编号 ：????—????????????一????—??? 提 高激光 干涉小 角度 测量 系统 测量? 精 度 及 误 差 修 正 的研 究? 朱小平 杜 华 崔京 远? ?中国计 量 科学 研究 院 ，北 京 ???????? 摘 要 ：本文从理论 上对激光小角度测量原理进行 深入分析 ，找 出制约测量精度的各种误差源 ，并提 出简单易行有效 的误差? 修正方法 。经过实际测试 ，验证了理论分析 的正确性和实际应用的可行性 ，为激光小角度高精度测量开拓了新的应用领域。? 关键 词 ：小角度 ；正弦原理 ；误 差修 正? 中圈分类号 ：??『???? 文献标识码 ：?? 理 的 ，如 图 ?所 示 ：? ?? 引言? 光捍 表 ???／?? 小角度一般指 小 于 ?。的角度 ，本文 中所说 小角度? 则是指扩 展后 的 ± ??。范 围 的角 度 ，这是 因为 国内 外? 商 品化 的激光干 涉 仪所 具备 的小角度 测 量 范 围都 为? 图 ?? ± ??。。在此范围内精度较高的小角度测量仪器主要? 当立 体反 射镜 的上 下两 中心点连 线 与光轴 垂 直? 有激光小 角度测量仪 。但 是 ，目前 商 品化 激光 干涉 仪? 时 ，上下平 行 的两路 光 的光 程差 为零 ，此 时依正 弦原? 小角度测 量的不确定度 仅为 ?．?％??．?％，这就 大大? 理为 角度测 量 范 围 的零 点 位 置 ，如 被 测 角 度 产 生 变? 限制了其使用范围。由于这类仪器的测量均是基于? 化 即立体 反射镜 产 生 角 偏 移 ?时 ，上 下 两 路 光 就有? 正弦原理的特点 ，正确理解此类仪器 的测量原理、使?