复合材料测试方法第3章.pptVIP

复合材料测试方法 ; 第三章 电子显微分析 第一节 电子与物质交互作用 1.散射 2.电子与物质交互作用产生的信息 第二节 透射电子显微分析 第三节 电子衍射 第四节 扫描电子显微分析 第五节电子显微分析的应用;; ; 二次电子的特点： ①对样品表面形貌敏感，可作为形貌分析的信号。 ②空间分辨率高 通常入射电子束进入样品表面后，由于二次电子能量低，只有表面10nm以内才能成功接收信号，具有较高的分辨率，SEM中成像分辨率在3～6nm之间，TEM在2～3nm。 ③收集信号效率高 二次电子本身能量低，容易受电场作用，只要在检测器上面加一个5 ～10KV的正电压就能使作用于样品表面的绝大部分二次电子收集进入检测器，从而提高信号收集效率。 二次电子信息的上述特点使其成为SEM的主要成像信号。; ; ; ; 电子与物质相互作用产生的信息及相应仪器; 第三章 电子显微分析 第一节 电子与物质交互作用 第二节 透射电子显微分析 1.概述 2.透射电子显微镜的结构原理 3.仪器主要部件 4.主要性能指标 5.制样与复型技术 第三节 电子衍射 第四节 扫描电子显微分析 第五节电子显微分析的应用;;电子显微分析的特点： ⑴可以在极高的放大倍数下直接观察试样的微区形貌、结构和分析区域。 ⑵具有非常高的分辨率，成像分辨率达0.2～0.3nm，可直接分辨原子，能进行纳米尺度的晶体结构及化学组成分析。 ⑶各种电子显微分析仪器日益完善，向多功能、综合性方向发展，可以同时进行形貌、物相、晶体结构和化学组成分析。 因此，电子显微分析在固体化学、材料科学、地质矿产、医学生物和冶金建材等方面得到广泛应用。 ;复合材料测试方法 第三章;复合材料测试方法 第三章;复合材料测试方法 第三章;; ; ②成像系统 成像系统一般由物镜、中间镜和投影镜组成。其中物镜决定分辨率，其他两个透镜将物镜所形成的一次放大像进一步放大成像。 物镜 物镜是将试样形成一次放大像和衍射谱。物镜的分辨率应尽量高，而各种像差应尽量小，特别是对球差要求更严格，高分辨电镜中物镜的球差系数很小，一般为0.7mm左右。另外还要求物镜具备较高的放大倍数(100-200X)。强励磁短焦距的透镜具有较小的球差、色差、像散和较高的放大倍率。 中间镜 中间镜是弱磁透镜，放大倍率可在0-20X之间变化；它的功能是把物镜形成的一次中间像或衍射谱投射到投影镜物面上，再由投影镜放大到终平面(荧光屏)。; ; ; ; ; 4.TEM的主要性能指标 ⑴分辨率 图像可以分辨开的相邻两点在试样上的实际距离称TEM的点分辨率。 通常肉眼分辨率为：0.2mm；光学显微镜0.2μm；电子显微镜0.2nm。 TEM分辨率测量方法一般用贵金属Pt、Ir粒子蒸到火棉胶上，得到0.5nm粒度，间距0.2～0.5nm，两点距离除以放大倍数即得到分辨率。 TEM的线分辨率指观察晶面时最小可分辨的面间距。 如：Au(200)0.204nm，Au(220)0.144nm。 ; （2）放大倍数 指图像相对于试样的线性尺寸的放大倍数，一般在50～60万倍。 （3）加速电压 指阴极（灯丝）对阳极的电压，用来加速电子束的运动速度。一般在50 ～200kV，加速电压越高，电子穿透试样的能力越大，可观察较厚的样品，对样品辐射损伤就越小。但是加速电压增高会降低分辨率。;5.TEM的制样与复型技术 ; ;（4）高分子试样见表。 ;（5）复型技术 ; ; ; 第三章 电子显微分析 第一节 电子与物质交互作用 第二节 透射电子显微分析 第三节 电子衍射 1.发展概况 2.电子衍射和X射线衍射的比较 3.电子衍射基本公式和相机常数 4.利用Au膜测定相机常数 第四节 扫描电子显微分析 第五节电子显微分析的应用; ; ; ; ; 3.电子衍射基本公式和相机常数 ; ;4.利用Au膜测定相机常数 ; 所以(Lλ)1= R1·d111= 8.73×0.2355=2.0559 mm·nm (Lλ)2 = R2·d200=10.33×0.