透射电子显微镜的结构文件—南理工.doc

透射电子显微镜的结构、原理 班 级：9131161502学 号：913116150208姓 名：安 志 恒 南京理工大学 材料科学与工程学院 2016．5. 30 一、实验目的 1. 了解透射电子显微镜的基本结构和工作原理 2. 了解透射电子显微镜的一般操作过程 3. 了解透射电子显微镜的图像衬度和图像分析方法 4. 了解选区电子衍射斑点的标定方法 二、扫描电子显微镜的基本结构 实验仪器为美国FEI公司生产的高分辨透射电子显微镜(FEI Tecnai 20)，用于材料的高分辨形貌观察、以及微区晶体结构、成分分析等。主要技术指标：点分辨率：≤0.24 nm；线分辨率：≤0.14 nm；加速电压范围：20 kV-200 kV；物镜焦距：≤1.7 mm；最大衍射角：≥±13°；放大倍数：25～1030K；样品台最大倾斜角：≥40°;电子枪：六硼化镧热发射电子枪；照明系统：CCD相机(4000×2700像素)，可直接拍摄电子衍射花样；能谱仪：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，元素分析范围Be(4)~Pu(94)。 透射电子显微镜由电子光学系统、电源与控制系统和真空系统三大部分组成，其中电子光学系统为透射电子显微镜的核心部分，包括照明系统、成像系统和观察记录系统。 (1) 照明系统 照明系统主要由电子枪、聚光镜和相应的电子束平移、倾