Maxis保养维护作业指导书.doc

Masix 300LCH保养作业指导书 第  PAGE 15 页 共  NUMPAGES 15 页 文件编号页 次1/13文件名称Maxis 300LCH保养作业指导书制定部门作业指导书制订日期 1.0、 目的: 为规范Maxis ICP保养作业方法，特制定本作业指导书。 2.0 、范围： 适用于Maxis ICP开关机、保养作业及考核、规范等。 3.0 、定义： 无 4.0 、作业内容： 无 5.0、 注意事项： 5.1、作业过程中员工必须戴好头套、口罩、手套。 5.2、清洗、烘烤部件务必干净、清洁。 5.3、腔体内部parts为易碎陶瓷品，作业中务必小心谨慎、轻拿轻放。 5.4、作业完成后及时清理工作台面及机台. 5.5、取下密封圈时切不可用金属等锋利工具，以免造成密封圈凹槽磨损而产生泄露。 5.6、拆、装螺丝要遵循对角操作的方式。 5.7、保养过程中注意工作台面整洁、规范操作，以免污染或者损坏电子电路等。 6.0 、日常保养： 6.1、 材料及工具使用明细 ： 6.1.1、 材料使用明细： 项目名称规格描述标准用量01 水若干02IPA若干03无尘布若干 6.1.2、工具使用明细: 项目名称数量项目名称数量01清洗水箱1个05十字螺丝刀1个02烤箱1个06防毒面具2个03N2枪1个07手持毒气检测仪1个04公制内六角1套08扭力内六角螺丝刀2个核准审查拟案版本修订内容修订日期符号版本号A修改号0 文件编号页 次2/13 6.2、保养项目： 机台编号保养日期序号周期计划保养项目标准或处理方法完成打√备注1周PM腔湿法清洁清洁腔体（200run/次）2周TM腔清洁清洁腔体（200run/次）3双周尾排清洁清洁尾排管路4年油泵保养更换泵油5年干泵保养寄回原厂清洁保养6年分子泵保养寄回原厂清洁保养7年APC阀门清洁原厂工程师保养 6.3、保养作业流程： 6.3.1、模式转换：将TM,PM由standby模式切换成 Maint 模式。（图1） 图1 图2 6.3.2、将工艺Bottom温度更改为室温25℃。（图2） 6.3.3、对PM腔进行cycle purge，结束后vent腔体至ATM状态。（图3） 图3 6.3.4、操作人员带上防护装置，打开腔门，打开后会有报警提示，消音即可。（图4、5）  文件编号页 次3/13 图4 图5 6.3.5、将排风罩放置在腔门上固定，并打开排风开关Exhaust Blower十分钟。（图6、7） 图6 图7 6.3.6、观察chamber内是否有异样，若有异常拍照并向上级汇报。（图8） 图8 图9 6.3.7、用内六角拆下锁住clamp的三颗螺母，取出clamp。（图9） 6.3.8、取出 Upper Chuck Guide Ring。(图10)