新型扩散炉培训.ppt

;主要内容;高温扩散炉外观;控制柜 推舟净化台 电阻加热炉 气源柜 ;1.1控制部分;推舟净化柜的顶部装有照明灯；正面是水平层流的高效过滤器及四层推舟的丝杠、导轨副传动系统及SiC悬臂桨座，丝杠的右端安装有驱动步进电机，导轨的两端是限位开关。 柜子的下部装有控制电路转接板及净化用风机。 电阻加热炉部分 电阻加热炉柜共有六层。顶层配置有水冷散热器及排热风扇，废气室顶部设有抽风口，与外接负压抽风管道连接后，可将工艺过程残余的废气带走。 中间部分分四层放置四个炉管，每层由四个坡面支架托起并固定住炉管，其位置在安装时已经与推舟送片机构——丝杠、导轨副调好对中，因此切不可轻易挪动;气源柜分为五层。顶部设置有排毒口，用以排除在换源过程中泄漏的有害气体。 柜顶设置有三路工艺气体及一路压缩空气的进气接口，接口以下安装???减压阀、截止阀，用以对进气压力进行控制及调节。对应于气路，各层分别装有相应的电磁阀、气动阀、过滤器、单向阀、质量流量控制器、及源瓶冷阱等。 柜子的底部装有质量流量控制器电源、控制开关、保险等电路转接板以及设备总电源进线转接板。 ;1.4气路结构;1.5气路结构各阀门名称;1.6系统控制原理;1.7主要性能指标;1.7扩散软件系统主界面;1.8扩散软件系统主界面;1.9数据编辑窗口;1.10数据编辑窗口;1.11工艺运行界面;1.12工艺运行界面;1.13历史记录界面;1.14断点启动界面;1.15用户管理界面;1.16切换用户界面;1.17报警窗口;1.18气路部分;气动阀由PVC材质制造。耐腐蚀。运行工艺时，需要通入三氯乙烷和三氯氧磷是系统会自动开启。靠连接在上面的两跟压缩空气管，通入高压的空气，下压气动阀。形成一个通路。清洗时严禁用酸清洗。内部有金属。;此处是挡板最容易损坏的地方，石英套管的后方连接有弹簧，由于弹簧的力量，经常会造成套管脱离挡板的内部，进舟时，由于没有发现，石英套管末端抵在铁挡板上，造成整个挡板的损坏。所以进舟时应该认真检查石英套管是否在铁挡板内部。以免损坏石英挡板;石英挡板与桨接触的地方经常容易损坏，特别是排气管，装挡板时应该扶住挡板，以免损坏。;炉口抽风连接着外部的抽风系统，是运行工艺时废气的排放出口。由于长时间的使用，管道内部沉积了可凝物，由于时间长没有人清理，会低落下磷酸，污染片子和石英舟。甚至是石英管。所以炉口抽风应经常擦拭。;尾部排气套件包含排废气管和热偶管。连接处由聚四氟乙烯密封圈连接。外面有夹子夹牢。;此螺丝用于固定碳化硅桨。防止左右晃动。也用于封堵工艺运行时的废弃由桨的缝隙跑出。该螺丝拧时感觉紧就可以，桨不晃动即可，严禁用力拧，以免抵裂碳化硅桨。;D管炉尾挡板的拆卸必须要两人一起操作。一人负责固定住挡板，另外一人负责拧螺丝。以防挡板掉下砸断进气石英管和尾气管。;1.进舟时保证净化风机开启。 2.温控仪没有工艺人员允许严禁乱调。 3.控制柜面板上的“消声”按钮是当系统出现故障，发出声光报警后，按下它，蜂鸣器便不再发声；但此时并不表示故障已经解除，必须在排除故障后将其松开。正常运行时，保证消声按钮是弹起的。 4.急停按钮是当进、出舟过程中出现意外时，手动停止用的，在正常工艺时，请注意保持该按钮不要按下。 ;5. 桨的位置调好后，基座上下、前后以及端头的俯仰调节螺钉均不得再随意调动，否则在进出舟过程中极易造成石英挡板以及硅片的损坏，严重的还会直接损坏石英管和桨。 6.石英炉门与桨的接触部位请定期进行清洗，防止由于工艺残留物堆积使得滑动不畅造成石英门损坏。运行工艺时必须摇动挡板。 7.主送气管道在清洗石英管接入设备之前应先排空，通入纯净高压气体吹洗干净，否则管道内的不洁净物质会引起气动阀关闭不密封以及造成过滤器和质量流量控制器的堵塞及损坏。 ;8.压缩空气、 高纯N2 、高纯O2等各种气体进气压力设定值（气源柜减压阀表读数）均应调在0.3～0.4Mpa 之内，太小会使得气动阀难以开启以及质量流量控制器流量显示不稳定，太大则有可能损坏过滤器及质量流量控制器。 9. POCL3扩散源具有极强的腐蚀性，如果磷源洒在了恒温槽内，应马上拔下恒温槽的电源插头，将槽内的水倒掉并清洗干净，否则会造成恒温槽内的致冷铜管因受腐蚀而穿孔。 ;设备外壳一定要有良好的接地。 出现故障时必须先切断电源再分步检查，严禁在未弄清故障原因的情况下带电检测。 当系统出现报警时，必须在彻底排除故障后，方可重新开机。 运行工艺过程中，炉口废气室及源柜的排气口，一定要与排风系统相通，保证抽气排毒畅通。 ;5 对超温保护系统应作定期检查，看是否工作可靠。如果晚上设置自动保温，要求设置的最高报警温度小于1120℃，在进入自动保温前应先测试一下超温保护系统是否灵敏可靠。 6、气柜下方是