SOI波导弯曲损耗影响因素的分析.pdf

第 卷增刊 半 导 体 学 报 *’ ! ! ! ! aD2*’!%GGD9196C 年 月 *++. ’ #8Q!%!M_e]Q$?_^%!=#_QNe#[_]% M69$*++. 波导弯曲损耗影响因素的分析 6/1 # 陈媛媛 余金中 严清峰 陈少武 ! ! ! 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室 北京 # $ !,+++-0% 摘要 采用有效折射率方法 和二维束传播算法 对 ’ !=#9@@9EC;P9;6I9K19C4I% #*NJ\=% %_#H;D;E6J6J;6HD5CF% 波导弯曲损耗的几种影响因素进行了分析 通过模拟发现弯曲损耗随弯曲半径的增大 波导宽度的增加及内外脊 2 ’ 高比的减小而减小 同时 改进波导结构 例如在弯曲波导外侧刻槽可以减小 脊形波导的弯曲损耗 2 $ $ %_ 2 关键词 弯曲波导 弯曲损耗 集成光学 ’%_( ( ( ’’%)(,0+((,(+ 中图分类号 文献标识码 文章编号 ’[Q*.*!!! ’$!!! ’+*.0J(,))$*++.%+J+*,’J+( 关 同时还与波导的宽度及脊形波导的刻蚀深度有 引言 $ !! 关 对弯曲波导的精确分析需要用三维束传播算法 2 近年来 材 料 由 于 导 然而 计算复杂且耗时长 有效 %_#H;D;E6J6J;6HD5CF% #0NJ\=%$ 0NJ\= 2 波性能良好 在导波光学器件和光电子器件方面的 折射率法 是一种简单 $