tn-10 5255型加速度计的应用.pdf

应用说明：TN-010 3255 型加速度计 简介 3255 型加速度器方便，灵活，性能可靠，可用来 测量加速度，减速度，振动和冲击，如自动气囊系统的 正面及侧面检测，便携式数据记录的振动监测。 此应用说明描述了 3255 的结构及操作，以使广大 用户更深入地了解和体会这一传感器科技的突破的有 力特征及带来的好处。解释并举例说明了与 3255 有关 的关键性能参数。 描述 3255 为全程信号处理加速度传感器，包括两个芯 片：硅传感元件和一个信号处理的集成电路（ASIC）。 各种测量量程的加速度传感器均可供货。电源电压为 5V，零位时的输出电压为 2.5V，3255 的满量程输出范 图 1. 双芯片加速度计 围为 0.5V—4.5V，输出电压与电源电压成比例，并且在 5.0±0.5V 的范围内随着电源电压而变化，在使用 3255 时只须三个连接：5V 电源，地，信号输出。在选型资 料里面有完整的技术参数。 3255 也可以其它的连接来增加它的功能，一个数 字报警输出，在正常工作时处于低电平信号状态中，对 超出允许范围的传感器单元输出信号发出警报。提供一 个电压给自检输入端，便可以使这一功能和性能得到证 实。 传感器芯片和信号处理芯片被封装在陶瓷结构中， 图 2. 加速度计剖面图 为无引线方式，这种密封封装外壳带有镀金的金属盖， 硅的顶部和底部的帽与容纳振动片和支架的部分 用来保护敏感元件和电路(图 1)。加速度器可以被安全 相连，硅帽有几个用途，精密的缺口蚀刻在帽上提供 地安装在陶瓷介质或印刷电路板上，灵敏轴线与封装的 了空气缓冲，消除结构的共振峰值。因为这个部分被 底面垂直，然而，封装可以安装在两个方位，允许轴线 缓冲，到几千 Hz 的频率响应是呈水平趋势，受温度影 平行或垂直于安装底面。 响较小。顶帽和底帽上的小缓冲器限制振动片的移动 传感器元件 为偏移的比值，即产生破裂的比值 。硅帽也在振动片 的周围形成保护空间，在以后的元件制造和应用时提 图 2 所示为硅敏感元件，它由微切削加工技术处理 供保护。 形成的一个振动片和 4 个褶曲部分组成。4 个支架中的 每一个都含有 2 个移植的电阻，它们互相连接形成一个 最后，顶帽用来在没有加速度时检测加速度计， 惠斯登电桥，当它承受一个加速度时，这个片将上下移 当提供给硅顶帽金属极一个电压时，有一个静电力驱 动，导致 4 个电阻值增加，其它的 4 个减少，这样就形