堀场汇博隆S49 28系列流量计、流量控制器说明书.pdfVIP

S49 28/MT S49 28A/MT 系列质量流量控制器/流量计 使 用 说 明 书 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司 目 录 1、 特点及应用领域 2 2、 S49 系列质量流量控制器和质量流量计型号 2 3、 主要技术指标 2 4、 工作原理 3 5、 安装和接线 5 6、 使用方法和操作步骤 10 7、 注意事项 11 8、 故障判断和处理 12 9、 附录：气体质量流量转换系数 14 1 1、特点及主要应用领域 质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）是对气体的质量流量进行精密测量 ??控制的设备。 质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM）,是对气体的质量流量进行精密测量的设备。 S49 28 质量流量控制器和质量流量计特点： ☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压 力的变化而变化。 ☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。适用于各种耐 腐蚀性气体。 ☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。 ☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配 合。 S49 28 质量流量控制器和质量流量计主要应用领域： 半导体制造行业的气体流量控制； 分析仪器设备的气体计量与控制； 各种形式的真空镀膜设备； 环境检测与分析设备； 化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制； 特种材料表面处理装置与燃烧控制； 混气配气系统和泄露探测系统等。 2、S49系列质量流量控制器和质量流量计型号 S49 28 系列质量流量控制器，S49为质量流量控制器和质量流量计产品，28/MT为本公司 此产品设计序列号。 其中：S49 28□/MT 系列为质量流量控制器 S49 28□A/MT 系列为质量流量计 质量流量计用于对气体的质量流量精确测量计量； 质量流量控制器不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动控制气体的质量流量 功能。 其中“□”为区分供电电源电压范围，分为两种： “B” 表示±15V供电， “F” 表示＋24V供电。 如：S49 28 B/MT 为±15V供电质量流量控制器， S49 28 F/MT为＋24V供电质量流量控制器. 执行 Q/CYHMT001-2011 企业标准 3、 主要技术指标 2 质量流量计和质量流量控制器流量出厂通常用氮气(N2)标定。 质量流量单位为：mL/min（毫升/分）；(SCCM行业标准) L/min （升/分）。 (SLM行业标准) 标准状态为：温度----273.15K（0℃）； 气压----101325Pa(760mmHg) F.S(Full Scale):表示满量程值 表1 S49 28□/MT流量控制器、S49 28□A/MT流量计技术指标 编号 项目 S49 28 B /MT S49 28 F /MT 1 流量规格 （0～50,100,15