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第四节（三）二硫化钼-（MoS2）气相沉积 文章来源：开拓者钼业 公司网址： 三、二硫化钼-（MoS2）气相沉积 在延展性较好的基体材料二硫化钼-（MoS2）(如 钢，A1 和 Ti 等)表面镀覆硬质耐磨镀层时，气相沉积是较为理想的制备方法。用该法制备的镀层不容易产生脆性断裂，结合强度高，可应用于高负荷的磨损场合。气相沉积一般可分为化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD）两大类，而溅射和离子镀则是两种常用的 PVD。 1. 二硫化钼-（MoS2）离子镀 二硫化钼-（MoS2）离子镀是物质以原子态沉积成膜的制备方法，可以获得性能优异的减摩耐磨和抗接触疲劳或 3者兼有的镀层。 例如，在高速钢表面二硫化钼-（MoS2）离子镀1、iN，不同镀层厚度所嵌示的显微硬度和结合力见表 2-69。 在工具钢 (YT4)表面离子镀，TiN，二硫化钼-（MoS2）镀层厚度不同所呈现的摩擦系数也不同。表2-70是TiN-YT14镀层体系和TiN-TiC (厚3μm）-YTl4两层镀体系中TiN镀层厚度不同时的摩擦系数(试验方法同多层镀的试验)。 利用离子镀中最常用的热蒸发空心阴极离子镀(HCI)法)和活性反应离子镀(ARH法)可在二硫化钼-（MoS2）材料表面镀覆一层金属、合金、化合物等硬质耐磨镀层。就ARt：法可获得的耐磨镀层有：Al2O3、BN、，TiC、TiN、TiC-TiN, TiO2, TiC-Ni, Ti C-Au, ZrC, ZrO2,VC; NbC, TaC,MO2C、Cr2N、Cr7C3等。几种化合物镀层的硬度值见表 2-71。 如果在栓(440C不锈钢)和盘（304不锈钢、Ti、AL)表面用 ARE法镀 覆各种不同的镀层进行摩擦学试验，其测定的摩擦系数和磨损量见表 2-720 试验条件为：负荷4N，静态试验的滑动速度(1.2~1.5)xl0 -2m/s，动态试验的滑动速度0.1—0.l5m/s。摩擦距离500m。表中μs为静摩擦系数，K为动摩擦系数，μL为油润滑条件下的摩擦系数。 如果在刀具材料二硫化钼-（MoS2）(YTl4)表面镀覆不同的镀层，将会降低切削应力，见表 2-730 刀片为 4Kl6A型，yo =8。，αo=8。，Kr = 45。，As =-4。，rs= 0.8mrr, 。切削机床为 C 620-1 型，转速 l00r/min，，切削用量：切深2r)im，进给量0.3mm/r。干切削。由表可见，镀层刀具比无镀层的 YTl4 的切削应力均小。TiN 镀层优于硬膜镀层。TiN-TiC-YTl4与TiN-YTl4相比较，相当于硬膜表面再镀软膜，因而切削应力下降 3%—4 %。TiN-.riC-YT14 与TiN-Y.T14 相比较，相当于插入硬膜法，但由于TiC膜厚：未达临界，厚度，故两者切削应力相差不多。 又如，二硫化钼-（MoS2）在高速钢齿轮滚刀表面镀覆不同厚度的 TiN 镀层 (沉积时问长则镀层1享)，在Y3108H 型滚齿机上进行切削寿命对比试验。采用以下切削条件：切削速度 35m/min，进给量 0，63mm/r，切削深度6.75mm，逆铣。试验结果见图 2-119。如果以滚刀后刀面的最大磨损量达 0.2mm 时为刀具的使用寿命(需要重新刃磨)，由图 2~ll9 可见，TiN镀层滚刀的使用寿命比末镀的滚刀高两倍左右。 采用二硫化钼-（MoS2）离子镀能有效地在钢铁表面沉积与基材牢固结合的 Cu-Pb合金镀层。例如，用 HCD法在45钢表面可以获得厚约 511m 的 Cu-Pb合金镀层。为了探索Cu-Pb合金的组分对镀层性能的影响，采用了 5种不同的组成分。各种二硫化钼-（MoS2）镀层的组成和显微硬度见表2-74。 可以看出，二硫化钼-（MoS2）镀层的需求与原料配比略有不同。二硫化钼-（MoS2）镀层的硬度随着Pb 含量的增加而减小。住/IM-200 型试验机上进行摩擦学性能测定。对偶为HT20—40灰铸铁。转速200r/min，负荷在测定摩擦系数时为 20N，在考核咬合性能时为 50N。干摩擦条件。其结果见表 2-75。由表可见，Cu-Pb合金镀层明显降低了摩擦系数；随着Pb含量的增加，摩擦系数下降得愈显著，抗咬合性能愈佳；但耐磨：寿命以Cu：Pb = 50：50 的组成 为最佳。因而在千摩擦条件下，采用离子镀Cu-Pb 合金是降低摩擦系数，提高抗粘着能力和耐磨性能的常用方法之一。 2.二硫化钼-（MoS2） 溅射 二硫化钼-（MoS2）溅射是在真空中借助于电场作用下的离能等离子体将物体直接镀覆于基材表面的成膜方法。所获镀层纯度高、结合牢固、致密，且膜厚可控制，摩擦学性能好。至今，研究得多的是溅射 MoS2 或将