现代电子显微分析第一章电子光学基础选编.ppt

现代电子显微分析技术;第一章 电子光学基础;1.1 光学显微镜的分辨率局限; 由于衍射效应的作用，点光源在像平面上得到的并不是一个点，而是一个中心最亮，周围带有明暗相间同心圆环的圆斑，即Airy斑．; 样品上两个物点S１、S２经过物镜在像平面形成像s1’、s2’。 Ｓ1、Ｓ2成像后在像平面上会产生两个Airy斑Ｓ1’、Ｓ2’．; 如果两个物点靠近，相应的两个Airy斑也逐渐重叠．当斑中心间距等于Airy 斑半径时，强度峰谷值相差19%，人眼可以分辨，即Rayleigh准则。;;此时的光点距离?r0称为分辨率：; 对玻璃透镜，取最大孔径半角? = 70-750，在介质为油的情况下，n ? 1.5，则其数值孔径n sin? ? 1.25-1.35，上式可简化为:;1924年德布罗意（De Brolie）发现电子波的波长比可见光短十万倍 1926年布施（Busch）指出轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦 1933年鲁斯卡（Ruska）等设计制造了第一台透射电子显微镜 目前，电镜分辨率可达?数量级，放大数百万倍 ;1.2 电子波的波长;电子的运动速度与透射电镜中阴阳极之间的加速电压有关，若阴阳极之间的加速电压为U，则：; 当加速电压很高时，电子的运动速度很大(接近光速)，电子的质量要进行相对论修正。;不同电子加速电压的电子波长;综上所述： ;１.3 电磁透镜;1.3.1 电子在静电场中的运动和静电透镜;电子束在电位分界面（等电位面）的折射;与光的折射现象十分相似 当电子从低电位区V1进入高电位区V2时，有折射角，也即电子的运动轨迹趋向于法线。反之电子的轨迹将离开法线。;三极式静电透镜等电位面(a) 电子轨迹示意图(b);短线圈磁透镜（最简单的磁透镜）;;V//B，fe = 0, 电子在磁场中不受磁场力，运动速度大小和方向不变； V┴B，fe = fmax，电子在与磁场垂直的平面内作匀速圆周运动； V与B成θ角，电子在磁场内作螺旋运动； 在轴对称的磁场中，电子在磁场内作螺旋近轴运动。;（a）磁力线上任一点的磁感应强度B可分解为平行于透镜主轴的分量BZ和垂直于透镜主轴的分量Br （b）电子所受切向力Ft和径向力Fr （c）电子作圆锥螺旋近轴运动 （d）电子束通过磁透镜的聚焦 （e）光学玻璃凸透镜对平行于轴线入射的平行光聚焦;电子运动轨迹示意图;1.3.3 电磁透镜的结构;电磁透镜发展;1) 带有软磁铁壳的磁透镜;带有极靴的磁透镜;带极靴的电磁透镜结构剖面图;有极靴;电磁透镜磁感应强度B沿光轴Z方向的分布;1.3.4 电磁透镜的光学性质;焦距f 0,会聚镜，凸透镜;3）电磁透镜具有磁转角; 磁透镜与静电透镜都可以作会聚透镜，但现代所有的透射电镜除电子光源外都用磁透镜做会聚镜，主要因为：; 光学显微镜和电子显微镜均是光学放大仪器，它们的几何成像规律是一样的。不同之处： 可见光 ①光源不同 电子束 玻璃 ②透镜不同 电场或磁场 空气或油 ③环境不同 真空 ;不同电子加速电压的电子波长; 已知光学衍射确定的分辨率为： ;像差;1.4.1 球差; 显然，物平面上两点的距离2?rs时，则该透镜不能分辨，即在像平面上得到一个点，因此，?rs表示球差的大小。; 球面差除了影响透镜分辨率外，还会引起图像的畸变，正球差引起枕形畸变（如图a)，负球差引起桶形畸变(如图b）。由于电磁透镜存在磁转角也会产生旋转畸变（如图c)。;1.4.2 像散;;电磁式消像散器;1.4.3 色差;引起色差的主要原因： 电子枪加速电压的不稳定引起照明电子束能量或波长的波动 单一能量或波长的电子束照射样品物质时，与物质原子的核外电子发生非弹性碰撞而造成能量损失 励磁电流波动 ; CC—色差系数； ?E/E —电子束能量变化率，取决于加速电压的稳定性 和电子穿过样品时发生非弹性散射的程度;色差系数和球差系数均随透镜激磁电流的增大而减小。;1.4.4 电磁透镜的分辨率;（2）像差对分辨的影响 ;;另一种解释：;1.5 电磁透镜的景深和焦长; 景深是当像平面固定时(像距不变),能维持物像清晰的范围内,允许物平面(样品)沿透镜主轴移动的