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电容式传感器研究现状及趋势 摘要：电容式传感器是把被测量转换为电容量变化的一种参量型传感器，广泛应用于压力、液位、位移等各种检测中。随着传感器的不断发展与成熟，电容式传感器作为一项前途广阔的新型技术，日益受到人们的重视。 关键字：电容式传感器 工作原理 测量电路 应用 中图分类号：TP212 文献标识码 A apacitive sensor research present situation and the trend Ji Xinyun Abstract: capacitive sensor is to be measured into a capacitance change parameter type sensors, widely used in pressure, liquid level, displacement, etc. Various kinds of detection. With the continuous development of sensor and mature, the capacitive sensor as a promising new technology, the increasingly brought to the attention of the people. Key words: Capacitive sensors Working principle Measurement circuit Application 0引言 电容式传感器具有结构简单、体积小、分辨率高、动态响应好、电容量小（一般为几十到几百微法）、负载能力差、易受外界干扰产生不稳定现象等特点。传感器是可以将非电量转换为电量的一种器件，在通信技术中信息的捕获方面起着非常重要的作用，而作为众多类型传感器中的一种，电容式传感器有着许多优点，应用也非常广泛。 电容传感器的基本结构及工作原理 该传感器是一种把被测的机械量，如 HYPERLINK /view/45025.htm \t _blank 位移、压力等转换为电容量变化的传感器。它的敏感部分就是具有可变参数的电容器。其最常见的结构包括平板状和圆筒状，简称平板电容器或者圆筒电容器。 平板电容式传感器的结构图如图a所示。在不考虑边缘效应的情况下，其电容的计算公式为 A,d——两平行板所覆盖的面积及之间的距离；——电容极板间介质的介电常数和相对介电常数； —— 自由空间（真空）介电常数，=。 d、s、ε 三个参数中任一个的变化都将引起电容量变化，并可用于测量。因此平板电容式传感器可分为极距变化型、面积变化型、介质变化型三类。 图（a） 圆筒电容式传感器的结构图如图b所示。在不考虑边缘效应的情况下，其电容的计算公式为 图（b） 当被测参数或者变化时，将导致圆筒电容式传感器的电容量C发生变化。因此圆筒电容式传感器可分为变介质介电常数的变介质型和变极板间覆盖高度的变面积型两类。【1】 1.1变面积型 线位移变面积型 对于平板状结构，当被测量通过移动极板引起两极板有效覆盖面积A发生变化时，将导致电容量变化。 结构原理图如图c所示。 设动极板相对于定极板的平移距离为，则电容为 ——初始电容； ——电容的变化量。 电容的相对变化量为 由此可见，平板电容式传感器的电容该变量与水平位移成线性关系。【2】 图（c） 角位移变面积型 角位移变面积型电容式传感器的原理如图d所示。 当动极板有一个角位移时，与定极板间的有效覆盖面积将变为图中阴影部分，即 ， 此时电容量为