真空泄污系统自控系统说明书选编.doc

真空泄污系统自动控制系统 PAGE   PAGE 16/ NUMPAGES 17 真空泄污系统自动控制系统 简要说明 北京克莱克森科技有限公司 目 录  TOC \o 1-3 \h \z \u  HYPERLINK \l _Toc454394296 一、真空泄污系统及自动控制系统简介  PAGEREF _Toc454394296 \h 2  HYPERLINK \l _Toc454394297 1、真空系统简介  PAGEREF _Toc454394297 \h 2  HYPERLINK \l _Toc454394298 2、真空泄污系统控制的要求：  PAGEREF _Toc454394298 \h 4  HYPERLINK \l _Toc454394299 二 、真空泄污系统自动控制系统组成  PAGEREF _Toc454394299 \h 5  HYPERLINK \l _Toc454394300 2.1系统组成  PAGEREF _Toc454394300 \h 5  HYPERLINK \l _Toc454394301 2.2 自动控制柜  PAGEREF _Toc454394301 \h 6  HYPERLINK \l _Toc454394302 2.2.1 硬件组成  PAGEREF _Toc454394302 \h 6  HYPERLINK \l _Toc454394303 2.2.2软件组成  PAGEREF _Toc454394303 \h 6  HYPERLINK \l _Toc454394304 2.3 现场仪表及传感器  PAGEREF _Toc454394304 \h 7  HYPERLINK \l _Toc454394305 三、控制系统操作  PAGEREF _Toc454394305 \h 7  HYPERLINK \l _Toc454394306 3.1开机操作  PAGEREF _Toc454394306 \h 7  HYPERLINK \l _Toc454394307 3.2 画面介绍  PAGEREF _Toc454394307 \h 8  HYPERLINK \l _Toc454394308 3.2.1 运行画面  PAGEREF _Toc454394308 \h 8  HYPERLINK \l _Toc454394309 3.2.2 参数设置画面  PAGEREF _Toc454394309 \h 9  HYPERLINK \l _Toc454394310 3.2.3 实时数据画面  PAGEREF _Toc454394310 \h 10  HYPERLINK \l _Toc454394311 3.2.4 报警画面  PAGEREF _Toc454394311 \h 11  HYPERLINK \l _Toc454394312 3.3 操作方法  PAGEREF _Toc454394312 \h 11  HYPERLINK \l _Toc454394313 3.3.1手动控制  PAGEREF _Toc454394313 \h 11  HYPERLINK \l _Toc454394314 3.3.2自动控制  PAGEREF _Toc454394314 \h 12  HYPERLINK \l _Toc454394315 3.3系统关机  PAGEREF _Toc454394315 \h 12  HYPERLINK \l _Toc454394316 四、故障处理及维护  PAGEREF _Toc454394316 \h 13  HYPERLINK \l _Toc454394317 4.1 PLC故障处理及维护  PAGEREF _Toc454394317 \h 13  HYPERLINK \l _Toc454394318 4.2 一体化工业计算机故障处理及维护  PAGEREF _Toc454394318 \h 14  HYPERLINK \l _Toc454394319 4.3 现场仪表及变送器故障处理及维护  PAGEREF _Toc454394319 \h 14  HYPERLINK \l _To