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技术配置及要求环境要求房间温度相对湿度适用电源要求连续供电用途用于各种材料样品的形貌结构研究及测量样品的三维形貌和各种粗糙度值应用领域覆盖了金属及合金材料薄膜涂层聚合物纸张生物材料陶瓷磁介质和半导体等领域目的精密抛光的材料表面三维表面轮廓测量和粗糙度测量光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件薄膜和厚膜的台阶高度测量划痕形貌磨损深度宽度和体积定量测量空间分析和表面纹理表征平面度和曲率测量二维薄膜应力测量微电子表面分析和表征表面质量和缺陷检测技术性能指标及参数要求仪器主机含三维全自动样品台样品台直径
技术配置及要求:
环境要求:
房间温度:10~ 40 ℃
相对湿度:10-80%
适用电源:220 V ± 10%,50/60 Hz,要求连续供电。
用途:用于各种材料样品的形貌、结构研究及测量样品的三维形貌和各种粗糙度值。应用领域覆盖了金属及合金材料、薄膜/涂层、聚合物、纸张、生物材料、陶瓷、磁介质和半导体等领域。
目的:精密抛光的材料表面三维表面轮廓测量和粗糙度测量;光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件;薄膜和厚膜的台阶高度测量;划痕形貌, 磨损深度、宽度和体积定量测量;空间分析和表面纹理表征;平面度和曲率测量;二维薄膜应力测量;微电子表面分析和MEMS表征;表面质量和缺陷检测。
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