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光栅光谱仪调研 原理 图1. 光栅衍射的基本原理 光栅方程： 对于相长干涉，,对于较高级次此值会更大。 图2.单色仪内部光路原理简图 光栅光谱仪，是将成分复杂的光分解为光谱线的科学仪器。通过光谱仪对光信息的抓取、以照相底片显影，或电脑自动显示仪器显示和分析，从而测知物品中含有何种元素。光栅光谱仪被广泛应用与颜色测量、化学成分的浓度测量或辐射度学分析、膜厚度测量、气体成分分析等领域中。它是利用折射或者衍射产生色散的光谱测量仪器，例如：棱镜光谱仪、利用光栅制成的摄谱仪（spectrograph）和单色仪（monochromator），从入射狭缝入射的光经过棱镜或光栅色散后，成像在输出狭缝附近的焦平面上，不同波长在焦平面上对应于不同的位置。其中，摄谱仪的特点是可以一次同时记录光谱，但由于感光板记录光信号的灵敏度较低，时间响应也较慢，对弱光谱信号需要很长的曝光时间，单色仪的特点是可以配合该灵敏度和快速响应的光电探测器进行探测，通过转动光栅对波长进行扫描，随着光电技术的发展，光学多道分析仪（optical multichannel analyzer，OMA）结合了两者的特色。利用灵敏度高的、时间响应较快的光电探测器取代照相感光板，实现了对宽波长范围光谱的同时记录，因而在现代光谱测量中发挥着及其重要的作用。 衍射光栅是光栅光谱仪的核心色散器件，它是一块平整的玻璃或者金属材料表面（可以是平面或者凹面）刻划出一系列平行的等距离的刻线，然后在整个表面镀上高反射的金属膜或者介质膜，就构成一块反射式衍射光栅。相邻刻线的间距d称为光栅常数，通常刻线密度为每毫米百到十万条，刻线方向与光谱仪狭缝平行。 当一束复合光线进入单色仪的入射狭缝，首先由光学准直镜汇聚成平行光，再通过衍射光栅色散为分开的波长（颜色）。利用每个波长离开光栅的角度不同，由聚焦反射镜再成像出射狭缝。通过电脑控制可精确地改变出射波长。光栅作为重要的分光器件，它的选择与性能直接影响整个系统性能。光栅分为刻划光栅、复制光栅、全息光栅等。刻划光栅是用钻石刻刀在涂薄金属表面机械刻划而成；复制光栅是用母光栅复制而成。典型刻划光栅和复制光栅的刻槽是三角形。全息光栅是由激光干涉条纹光刻而成。全息光栅通常包括正弦刻槽。刻划光栅具有衍射效率高的特点，全息光栅光谱范围广，杂散光低，且可作到高光谱分辨率。 我们现在注重的是单色仪中的平面衍射光栅的效用。它是在衬底上周期地刻划很多微细的刻槽，一系列平行刻槽的间隔与波长相当，光栅表面涂上一层高反射率金属膜。光栅沟槽表面反射的辐射相互作用产生衍射和干涉。对某波长，在大多数方向消失，只在一定的有限方向出现，这些方向确定了衍射级次。 图4.单色仪反射式衍射光栅原理图 如图4所示，光栅刻槽垂直入射平面，入射光与光栅法线夹角为，衍射角为，衍射级次为m，d为刻槽间距，在下述条件下得到干涉的极大值： 定义为入射光线与衍射光线夹角的一半，即；为相对于零级光谱位置的光栅角，即 得到更方便的光栅方程： 从该光栅方程可看出，对一给定方向，可以有几个波长与级次M相对应满足光栅方程。比如600nm的一级辐射和300nm的二级辐射、200nm的三级辐射有相同的衍射角，这就是为什么要加消二级光谱滤光片轮的意义。对相同级次的多波长在不同的分布开。含多波长的辐射方向固定，旋转光栅，改变，则在不变的方向得到不同的波长。其中，，N:每毫米可划线的数目，+代表衍射光线与入射光线是在法线同一方向，-代表衍射光线与入射光线在发现的不同侧。我们在讨论的时候先假定入射光波是平面波，这样的话角展度就近似为零。我们保持入射角是常数，那么有， 参数特性 1、闪耀波长，闪耀波长为光栅最大衍射效率点，因此选择光栅时应尽量选择闪耀波长在实验需要波长附近。如实验为可见光范围，可选择闪耀波长为500nm。 图3.Efficiency curve of a blazed, ruled grating 实际上，闪耀波长并不是只对一个波长闪耀而是在一个波长范围内的闪耀，在闪耀峰值波长上，一级衍射效率可以达到70%--80%，当波长大于闪耀波长闪耀效率随波长的增加而缓慢降低；当波长小于闪耀波长，闪耀效率下降得很快。通常工作波长选择在闪耀波长附近以及长波方向上。对于闪耀光栅，在闪耀波长2/3处或者1.8倍波长处的光的强度为闪耀波长处的50%，光栅的衍射效率还与入射光的偏振特性有关，与光栅刻线方向垂直的偏振光衍射效率最高，自然光，其次真空紫外到远红外。 2、光栅刻线，光栅刻线多少直接关系到光谱分辨率，刻线多光谱分辨率高，刻线少光谱覆盖范围宽，两者要根据实验灵活选择。 3、光栅效率，光栅效率是衍射到特定级次的单色光与入射单色光的比值。光栅效率愈高，信号损失愈小。为提高此效率，除提高光栅制作工艺外，还采用特殊镀膜，提高反射效率。另外一个要求就是