硅表面人工微结构模板的构建和扫描探针显微术观察.ppt

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2017-04-26 发布于天津
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硅表面人工微结构模板的构建和扫描探针显微术观察

硅表面人工微结构模板的构建和扫描探针显微术观察;;Introduction to DI Commercial Multimode SPM;SPM Head—the most important part;Working concepts;Contact Mode AFM Concepts;Tapping Mode working concepts;Contact Mode working concepts;Working concepts;Working concepts;有关仪器测量精度等的讨论：;有关仪器测量精度等的讨论：;有关仪器测量精度等的讨论：;左为用于contact AFM的氮化硅针尖，右为用于TM AFM的掺杂单晶硅针尖。;实验计划：;化学腐蚀;实验结果：经过氢氟酸去除表面自然氧化层的硅（100）表面;测量高度等参数：表面由于被氢氟酸腐蚀得高低不平，高度起伏在10nm-20nm.;用玻璃刀在硅（100）表面刻穿600nm的氧化层，先用44%KOH腐蚀,再用氢氟酸去掉表面的氧化层.;由标尺读取的数据：两侧面夹角：180.000deg-20.095deg-22.210deg=137.695deg 接近于两个（114）面的夹角（141.0deg);经过刻蚀后的平整边沿;如果以点为中心开始腐蚀，在（100）面上就会得到倒金字塔形状的凹陷。（前提是起始点足够小，否则无法得到平整的拓扑图形。）;光刻;步骤;;刻蚀后形成的二氧化硅掩模;;;;Spm针尖刻蚀;;;Spm针尖偏压刻蚀;反应条件;致谢