第4章微纳制造技术1概述.pptVIP

第四章 微纳制造工艺; 什么是微电子学 微电子学的战略地位 晶体管的发明 集成电路的发展历史 集成电路的分类 微电子学的特点;微电子学：Microelectronics 微电子学——微型电子学，是研究，利用对微尺度下固体中电子运动的控制，实现对电磁信号进行高速处理的高度集成化的电子科学。 核心——集成电路;集成电路 Integrated Circuit，缩写IC 通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件，按照一定的电路互连，“集成”在一块半导体单晶片（如硅或砷化镓）上，封装在一个外壳内，执行特定电路或系统功能;集成电路芯片的显微照片;64M SDRAM （华虹NEC生产） 芯片面积5.89×9.7=57mm2 ， 456pcs/w，1个IC中含有1.34亿只晶体管;集成电路的内部单元;沟道长度为0.15微米的晶体管; 50?m; ????????????????????????????????????????;集成电路设计与制造的主要流程框架;—制造业—; 硅单晶片与加工好的硅片 ; 封装好的集成电路;微电子科学技术的战略地位;自然界和人类社会的一切活动都在产生信息。信息是客观事物状态和运动特征的一种普遍形式，是人类社会、经济活动的重要资源。 社会的各个部分通过网络系统连接成一个整体，由高速大容量光线和通讯卫星群以光速和宽频带地传送信息，从而使社会信息化、网络化和数字化。;1980－2000年全球国民生产总值及汽车、电子、半导体、钢铁工业产值对比 ; ? 在信息经济时代，产品，以其信息含量的多少及处理信息能力的强弱，决定着附加值的高低?决定着在国际经济分工中的地位;几乎所有的传统产业与微电子技术结合，用集成电路芯片进行智能改造，都可以使传统产业重新焕发青春 全国各行业的风机、水泵的总耗电量约占了全国发电量的30%，仅仅对风机、水泵采用变频调速等电子技术进行改造，每年即可节电500亿度以上，相当于三个葛洲坝电站的发电量(157亿度/年) 对白炽灯进行高效节能改造，并假设推广应用30%，所节省的电能相当于三座大亚弯核电站的发电量(139亿度/年);电子装备更新换代都基于微电子技术的进步，其灵巧（Smart）的程度都依赖于集成电路芯片的“智慧”程度和使用程度 ;微电子对国家安全与国防建设的作用;微电子对国家安全与国防建设的作用;微电子对信息社会的重要性;2020年世界最大的30个市场领域：其中与 微电子相关的22个市场：5万亿美元（Nikkei Business 1999）;我国微电子行业的发展;中国有关集成电路发展的政策;微电子科学和技术的发展历史;电子时代;晶体管的发明;晶体管的发明;1947年12月23日 第一个晶体管 NPN Ge晶体管 W. Schokley J. Bardeen W. Brattain ;晶体管的三位发明人：巴丁、肖克莱、布拉顿;集成电路的发明;1958年第一块锗集成电路：TI公司的Kilby，12个器件，Ge晶片;1961年仙童公司的罗伯特诺伊斯发明了第一块硅集成电路;1962年，德州仪器为“民兵-I”型和“民兵-II”型导弹制导系统研制22套集成电路。这不仅是集成电路第一次在导弹制导系统中使用，而且是电晶体技术在军事领域的首次运用。到1965年，美国空军已超越美国宇航局，成为世界上最大的集成电路消费者。 ;微电子发展史上的几个里程碑;第一台通用电子计算机：ENIAC Electronic Numerical Integrator and Calculator 1946年2月14日 Moore School，Univ. of Pennsylvania 18,000个电子管组成;第一个CPU：4004， 10微米工艺，2300??晶体管， 108KHz;Pentium III CPU芯片, 350nm工艺;不断提高产品的性能价格比是微电子技术发展的动力 集成电路芯片的集成度每三年提高4倍，而加工特征尺寸缩小 倍，这就是摩尔定律;Intel co-founder Gorden Moore notice in 1964 Number of transistors doubled ever 12 months while price keeping unchanged Slowed down in the 1980s to every 18 months（集成电路芯片的集成度每三年提高4倍，而加工特征尺寸缩小 倍） Amazingly still correct, likely to keep until 201