第四章光学干涉测量技术.pptVIP

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2017-04-27 发布于北京
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第四章光学干涉测量技术.ppt

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第四章光学干涉测量技术

*; 干涉技术和干涉仪在光学测量中占有重要地位。近年来，随着数字图像处理技术的不断发展，使干涉测量这种以光波长作为测量尺度和测量基准的技术得到更为广泛的应用。在光学材料特性参数测试方面，用干涉法测量材料折射率精度可达10-6；对材料光学均匀性的测量精度则可达10-7；用干涉法可测量光学元件特征参数，用球面干涉仪测量球面曲率半径精度达1μm，测量球面面形精度为1/100λ；用干涉法测量平面面形精度为1/1000λ；用干涉法测量角度时测量精度可达0.05″以上；在光学薄膜厚度测试方面，用干涉法测厚的精度可达0.1nm；在光学系统成像质量检验方面，利用干涉法可测定光学系统的波像差，精度可达1/20λ，并可利用干涉图的数字化及后续处理解算出成像系统的点扩散函数、中心点亮度、光学传递函数以及各种单色像差。;*;*;武汉大学电子信息学院;武汉大学电??信息学院;若两支相干光的光强关系为：;*;*;*;*;;*;*;*;*;*;武汉大学电子信息学院;武汉大学电子信息学院;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;武汉大学电子信息学院