第03章 应变式传感器新方案.pptVIP

信息与电气工程学院电子工程系;电阻应变式传感器具有悠久的历史．是应用最广泛的传感器之一。将电阻应变片粘贴到各种弹性敏感元件上，可构成测量位移、加速度、力、力矩、压力等各种参数的电阻应变式传感器。 虽然新型传感器不断出现，为测试技术开拓了新的领域。但是，由于电阻应变测试技术的独特优点，可以预见在今后它仍将是一种主要的测试手段。;(1)结构简单，使用方便，性能稳定、可靠； (2)易于实现测试过程自动化和多点同步测量、远距测量和遥测； (3)灵敏度高，测量速度快．适合静态、动态测量； (4)可以测量多种物理量。; 传感器工作原理 应变片的结构与材料 应变片的主要参数 温度误差及其补偿 测量电路 传感器应用;一、电阻应变式传感器工作原理;电阻应变片的应变效应;电阻－应变机理;金属丝电阻的相对变化与金属丝的伸长或缩短之间存在比例关系。比例系数KS称为金属丝的应变灵敏系数。;物理意义：单位应变引起的电阻相对变化。 KS由两部分组成： 前一部分是（1+2μ），由材料的几何尺寸变化引起，一般金属μ≈0.3，因此（1+2μ）≈1.6； 后一部分为 ，电阻率随应变而引起的（称“压阻效应”）。 讨论： 对金属材料，以前者为主，则KS≈ 1+2μ； 对半导体， KS值主要由电阻率相对变化所决定。 实验表明，在金属丝拉伸比例极限内，电阻相对变化与轴向应变成正比。通常KS在1.8～3.6范围内。;二、应变片的结构与材料;;（2） 基底和盖片 基底用于保持敏感栅、引线的几何形状和相对位置，盖片既保持敏感栅和引线的形状和相对位置，还可保护敏感栅。基底的全长称为基底长，其宽度称为基底宽。;;金属箔式应变片和丝式应变片相比较，有如下特点 ①金属箔栅很薄，因而它所感受的应力状态与试件表面的应力状态更为接近。其次，当箔材和丝材具有同样的截面积时，箔材与粘接层的接触面积比丝材大，使它能更好地和试件共同工作。第三，箔栅的端部较宽，横向效应较小，因而提高了应变测量的精度。 ②箔材表面积大，散热条件好，故允许通过较大电流，因而可以输出较大信号，提高了测量灵敏度。 ③箔栅的尺寸准确、均匀，且能制成任意形状，特别是为制造应变花和小标距应变片提供了条件，从而扩大了应变片的使用范围。 ④便于成批生产。 ⑤缺点：电阻值分散性大，有的相差几十Ω，故需要作阻值调整；生产工序较为复杂，因引出线的焊点采用锡焊，因此不适于高温环境下测量；此外价格较贵。;2.3 薄膜应变片; 2.4 半导体应变片（压阻式传感器） 是利用硅的压阻效应和微电子技术制成的，是一种新的物性型传感器。 优点：灵敏度高、动态响应好、精度高、易于微型化和集成化等。 ;压阻效应 单晶硅材料在受到应力作用后，其电阻率发生明显变化，这种现象被称为压阻效应。;3.1 应变片电阻值 3.2 灵敏度系数 3.3 横向效应 3.4 机械滞后 3.5 零点漂移和蠕变 3.6 应变极限 3.7 动态特性;它是指未安装的应变片，在不受外力的情况下，于室温条件测定的电阻值，也称原始阻值．单位以?计。应变片电阻值已趋于标准化，有60?，l 20?, 350?，600?和1000?各种阻值,其中120?为最常使用。;3.2 灵敏度系数; 金属应变片由于敏感栅的两端为半圆弧形的横栅，测量应变时，构件的轴向应变ε使敏感栅电阻发生变化，其横向应变εr也将使敏感栅半圆弧部分的电阻发生变化(除了ε起作用外)，应变片的这种既受轴向应变影响，又受横向应变影响而引起电阻变化的现象称为横向效应。; 应变片粘贴在被测试件上，当温度恒定时，其加载特性与卸载特性不重合，即为机械滞后。 产生原因：应变片在承受机械应变后，其内部会产生残余变形，使敏感栅电阻发生少量不可逆变化；在制造或粘贴应变片时，如果敏感栅受到不适当的变形或者粘结剂固化不充分。;对于粘贴好的应变片，当温度恒定时，不承受应变时，其电阻值随时间增加而变化的特性，称为应变片的零点漂移。 产生原因：敏感栅通电后的温度效应；应变片的内应力逐渐变化；粘结剂固化不充分等。 如果在一定温度下，使应变片承受恒定的机械应变，其电阻值随时间增加而变化的特性称为蠕变。一般蠕变的方向与原应变量的方向相反。产生原因：由于胶层之间发生“滑动”，使力传到敏感栅的应变量逐渐减少。 这是两项衡量应变片特性对时间稳定性的指标，在长时间测量中其意义更为突出。实际上，蠕变中包含零漂，它是一个特例。;在一定温度下，应变片的指示应变对测试值的真实应变的相对误差不超过规定范围（一般为10%）时的最大真实应变值。;3.7 动态特性 ;3.7 动态特性 设一频率为 f 的正弦