MASK工艺介绍.pdf

苏州美精微光电有限公司 光掩膜版（PHOTOMASK）知识介绍 (COLIN FONG) 第 1 页 共 11页 光掩膜版知识介绍 一、光掩膜版概述 二、光掩膜版的类别和工作原理 三、专业原理、术语及简称 四、工艺和设备 五、菲林 一、光掩膜版概述 在人类制版工业历史上，掩膜版（光罩/底片）作为图形和文字转移的一个重要媒介， 广泛应用于出版印刷、电子线路、玻璃印花、印染、陶瓷上花等行业，尤其在不断发展 的电子、微电子行业，随着技术、工艺的进步，掩膜技术也一步步由普通光学聚酯底片 发展到可以胜任微米级要求的高精度的铬版掩膜等，并进一步??亚微米级发展。 二、 光掩膜版的类别和工作原理 1、光绘聚酯底片（film Mask） 1） 聚酯底片俗称菲林，由基片（聚酯 PET 片材）、 感 光 乳胶层和保护膜构成。 保护膜层（1um） 感光乳胶层（5~8um） 基片（100~185um） 2） 具有有效波长的光波对感光乳胶层曝光时，发 生 光 化 学作用，构成具体图形的潜像， 经显影、定影之后，形成稳定卤化银图形。 3）技术参数 聚酯底片按照其厚度分为两种，一种是 4mil 厚菲林（薄菲林），一种是 7mil 厚菲林（厚 菲林）。按照激光光绘精度的不同，聚酯底片一般能做到 30um 左右的最小线宽。在电子 行业中主要使用于一般的印刷线路板和要求较低的 LCD 产品。目前在市场中使用的主 要有 KODAK、AGFA、FUJI、KONICA、DUPONT 及华光等公司的产品。 4） 光绘菲林检验方法及注意事项： ①在垂直日光灯（30W）目检台上通过透射光检验光绘菲林的组合及图形； ②在侧视灯光（18W-30W 日光）条件下，双手拿菲林同一边上两角竖放菲林通过透射光 检验菲林的划伤、短路、断路、脏污、黑线、黑点、针孔等缺陷。 ③总长尺寸及线条线缝的尺寸应在专用检验设备上进行。 ④注意：检验时手戴乳胶手套或乳胶指套；菲林若未贴保护膜则禁止放在任何平台上； 套全检查或放于目检台上时均要贴保护膜；拿取菲林时要注意避免弯曲磨擦造成折痕或 划伤；保持良好习惯，不许留长指甲。 5）常见问题的处理： PDF created with pdfFactory trial version 苏州美精微光电有限公司