背散射电子图像分析技术.pdf

背散射电子图像分析技术 （周剑雄供稿 zjx@cags.net.cn） 当入射电子与样品中的原子相互作用而改变方向而产生散射 时，其中部分电子(总散射角90 度时)，可重新通过入射电子表面而 被反射出来 ，这样的电子叫背散射电子。背散射电子的能量为 50ev ＜EB≤E 入。背散射电子的产率（背散射系数）与原子系数成正比（见 下图）。 使用 EPMA 和 SEM 等仪器时，均可以利用样品的背散射电子 成像，定性了解样品的平均原子序数的大小，及不同组分的分布状 态 。平均原子序数愈大，所产生的背散射电子数目越多，所以图象 的亮度愈，反之亦然。因此，尤其在对样品进行成分分析时，人们都 乐于使用背散射电子图像来研究样品的元素组成的特点。 背散射电子图像的分辨率通常为 500 ? ~2000 ?。背散射电子的 发射还与样品的表面形貌有关。所以背散射电子还可以提供有关样品 表面形貌的信息（周剑雄供稿 zjx@cags.net.cn）。 背散射系数η与原子序数 Z 的关系 背散射电子图像分析技术是成分分析时最常用的一项分析技术， 为成分分析提供了重要的选点依据。