非球面镜片加工技术说明.pdfVIP

文章编号 !#$%#’（(）!$)*$( 非球面曲面光学零件超精密加工装备与技术 罗松保，张建明 （中国航空工业第一集团公司 (( 所 第一研究室，北京 !)+） 摘要“：,-./010$( 非球面曲面超精密复合加工系统”是“九五”重点预研课题—“非球面曲面的超精密 加工与测量技术”的主要研究成果。重点对非球面曲面光学零件超精密加工机床，非球面曲面光学零件 超精密加工工艺，非球面曲面光学零件超精密测量技术进行了研究。其主要技术成果有：非球面超精密 复合加工系统综合设计和制造技术，高速超精密空气静压主轴系统，超精密闭式液体静压导轨系统，高 速超精密空气静压磨头电主轴系统，开放式高性能数控系统集成技术等。系统的精度检测和工艺实验 表明其研究水平进入了国际先进行列。 关 键 词：非球面；超精密；加工；测量 中图分类号：23!)!4+5# 文献标识码：6 非球面曲面光学零件超精密加工 ! 引 言 机床的研究［(］ 非球面光学零件在国防科技工业领域，以及 机床系统主要由以下部分构成： 民用光电产品方面都有着重要而广泛的应用。近 ,-./010$( （ ）机械系统，它包括：床身及隔振装置、导轨及驱 年来，我国加快了超精密加工技术的研究步伐，研 ! 动装置、主轴及驱动装置、延性方式磨削装置（砂 制出了少量非球面超精密加工机床，但大多功能 轮主轴、砂轮电火花修形装置、 修锐装置）、 单一，一般只有车削功能［!$］。少量进口的超精密 :;9 机床位置测量装置、刀架及吸屑装置、喷雾冷却装 加工机床最多也只有数控车削、磨削功能，再加之 置等；（ ）恒温供液系统、供气系统；（ ） 数控 非球面超精密磨削工艺的复杂性，这些进口的机 ( =,= 系统。 床的磨削功能基本上还未得到实际应用。因此， 机床系统采用“ ”形结构布局。 国内真正意义上的非球面超精密加工技术至今还 ,-./010$( 2 机床底座采用稳定性好的大块天然大理石，超精 未开展起来。“九五”期间，中国航空工业第一集 密闭式液体静压导轨呈“2”形布局布置在大理石 团公司 (( 所第一研究室对“九五”重点预研课题 台面上，分别作为该系统的 !、 轴，它们由交流 “$ 非球面曲面的超精密加工与测量技术”进行了