光电子能谱原理和应用.pptVIP

;1、历史;1969年，凯.西格班和HP合作生产出第一台XPS仪器 1981年，凯.西格班因对XPS的贡献获诺贝尔奖金;2、XPS应用;3、原理;原子中的电子变为真空中的静止电子所需要的能量;3.2 原子内层电子的稳定性;3.3、电子结合能化学位移;3.4、电子自由程;4、X射线光电子能谱仪;4、X射线光电子能谱仪;4、X射线光电子能谱仪;4、X射线光电子能谱仪;4、X射线光电子能谱仪;4、X射线光电子能谱仪;5、XPS仪一般性能;高分辨扫描;5.2 检测元素;X射线光电子能谱(XPS);5.3 测试厚度;5.4 灵敏度;6、XPS分析;6.2 荷电效应;6.2.1 标定;6.2.2 电荷补偿;6.3 深度分析;6、XPS分析;;优点：非破坏性，不改变样品的状态 缺点：①分析深度有限 ②角度旋转后，分析面积变化 ;6.3.3 角分辨XPS;6.4 特异峰;6、XPS分析;6.4.2 鬼峰（ghost peaks）;6.4.3 能量损失峰;6、XPS分析;6.5 定量分析;令 S =σψγAλ 为灵敏度因子 ;7、XPS仪器新进展;7.1.1 单??化原理;A;原子面对X射线的反射并不是任意的，只有当?、?、d三者之间满足布拉格方程时才能发生反射。;7.1.2 单色化XPS优点;7.2 小束斑XPS; X射线在样品上的光斑大小与电子打在金属（阳极）上的光斑大小近